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6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0 394 NXT III 机械手册 8. 将工作头盖罩安装在外壳上。 a. 将工作头盖罩的接头插入到管内， 把外壳的螺丝孔与工作头盖罩的孔对齐。 b. 将 4 根内六角螺栓 （M6×L30）用紧固转矩 9.31N·m 拧紧。 （更换连接管时，请切成与泵 相同的长度进行更换。 ） 9. 插入连接管。 （更换时，请切成与泵 相同的长度进行更换。 ） 10.将泵横放，安装手 柄和平板。 真空泵的…
MEC-NXT3-002S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 393
5. 将排气阀安装在气缸上。
a. 在气缸上放置排气阀。将吸气阀备份以及排气阀压板重叠。
b. 一边确认排气阀不要碰到气缸的凹槽内侧周围，一边将排气阀压板用小螺丝
（M3×L5）拧紧。
6. 将汽缸与标记对准后插入到盖垫部分。
7. 更换盖垫的密封垫。
a. 从工作头盖罩上拆下旧的密封垫。
b. 将工作头盖罩用工业用酒精洗干净，再用电吹风吹干。
c. 将新的密封垫安装在工作头盖罩上。
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0.69 Nm
6. 消耗品的更换 MEC-NXT3-002S0
394 NXT III 机械手册
8. 将工作头盖罩安装在外壳上。
a. 将工作头盖罩的接头插入到管内，把外壳的螺丝孔与工作头盖罩的孔对齐。
b. 将 4 根内六角螺栓 （M6×L30）用紧固转矩 9.31N·m 拧紧。
（更换连接管时，请切成与泵相同的长度进行更换。）
9. 插入连接管。（更换时，请切成与泵相同的长度进行更换。）
10.将泵横放，安装手柄和平板。
真空泵的安装
1. 请按照与拆除相反的步骤，将真空泵安装到基座上。
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9.31 Nm
警告
请必须在 2 人以上进行操作。决不要在勉强的姿势下抬起泵。有可能使腰受伤。
MEC-NXT3-002S0 6. 消耗品的更换
NXT III 机械手册 395
6.16 4M-3 基座用真空泵的损耗品
请将吸气阀、垫圈等损耗品更换成真空泵维修保养套件的新部件。
6.16.1 更换时期
机器每运转 10,000 小时
6.16.2 准备物品
维修保养套件 ( 图号 :H66817)
注意 )在 O 型圈上涂敷了润滑油。使用时请不要擦去润滑油。
01MEC-1341
No. 部件名称 数量
1盖垫 4
2阀A 4
3阀D 4
4阀盖 4
5 眼镜型密封圈 4
6 O 型密封圈 8
30MEC-0360a
1
2
4
5
3
6