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3-20 3 4 . 6  R E T RY( 重 新 执行 ) 显 示 过去 发 生 的 10 0 个 错 误 履 历。 监控屏:重新执行 26 3 1 4- M 3 -0 0

100%1 / 117
3-19
3
4.5
形式元件量、等。
监控屏:校正
26313-M3-00
· Head 号码
的号有几个贴多就可以示几码。从目前吸附开 1 个周期中使别结果,
成图别后
· 元件
的元
· 安装
的元码。
· X、YR
量。该数值的中心开置的移量。
·
3-20
3
4.6 RETRY( 执行 )
过去 100 历。
监控屏:重新执行
26314-M3-00
3-21
3
4.7
板、部」
监控屏
基准标记校正
26315-M3-00
· 正值 X、YR
”号显别结与基板程入值的比较。
· 正值提高
据校 X、YR 板伸展率。
·
功」未完别动作成功,成」会变功」