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2-13 2 1 .  [ 基 板 传 送 ] 按 钮 按 [ 基 板 传 送 ] 按 钮 , 显 示 如 下 对 话 框 。 基板传送对话框 26 2 0 5- M 3 -0 0 ·  全 部 位 置 选 择 全 部 位 置 , 则 按 照 [ 入 口 传 送 带 → 第 1 基 板 台 ] 、 [ 第 1 基 板 台 → 第 2 基 板 台 ] 、 [ 第 2 基 板 台 → 第 3 基 板 台 ] 、  [ 第 3 基 板 …

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2-12
2
2.3
3
1
2 4 6
8
7
传送装置手动按钮
5
26204-M3-00
2-13
2
1.
基板传送对话框
26205-M3-00
·
1 1 2 2 3
3 4 4
·
·
·
·ABCD)
·线
·线
2.
OK
「传送宽度」画面
26206-M3-00
c
注意
调整传送宽度时,必须注意避免传送轨道与其他传送装置、顶针等发生碰撞。
2-14
2
3.
使PTP使
「轴移动」画面
1
2
3
4
5
6
26207-M3-00
1 16 1/16
2
3 PTP
4
5
6
W PU
ON