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2-24 2 4 按 [ 开 始 ] 按 钮 , 开 始 暖 机 运 行 。 在 「 进 展 状 态 」 画 面 , 显 示 暖 机 经 过 的 时 间 和 状 态 。 暖机运行画面 26 2 1 5- M 3 -0 0 c 注意 暖机运行过程中如发生异常情况,立即按 [ 停止 ] 按钮中断暖机运行,查明异常原因,采取相应措施。 5 结 束 暖 机 运 行 。 到 达 S t e p 3 设 置 的 时 间 后 , 机 器 会 自 动…

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2-23
2
3.3
10
1
3.1
2
[ ]
[ ] [ ]
3
[ ] 10
按[暖机]按钮,打开暖机实施画面
生产设计画面
暖机时间的设置
按该按钮,输入暖机的实施时间
26214-M3-00
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4
[ ]
暖机运行画面
26215-M3-00
c
注意
暖机运行过程中如发生异常情况,立即按 [ 停止 ] 按钮中断暖机运行,查明异常原因,采取相应措施。
5
Step3 [ ]
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2
3.4
基板固定方法
基板固定方法的确认
基板固定示意图
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c
注意
如果要生产的基板上有切口等,传送装置的各基板传感器有可能无法检出基板。