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3-21 3 4 .7  基 准 标 记 显 示 「 基 板、 拼 块 」 、 「 局 部」 、 「 点 」 等 基 准 标 记 的 识 别 结 果 。 监控屏 基准标记校正 26 3 1 5- M 3 -0 0 ·  校 正值 X、 Y 、 R 用 “ + ” 和 “ - ”号显 示 识 别结 果 与基 板程 序 输 入值 的比 较。 ·  校 正值 提高 显 示 根 据校 正 值 X、 Y 、 R 计 算 而 来 的 基 板伸…

100%1 / 117
3-20
3
4.6 RETRY( 执行 )
过去 100 历。
监控屏:重新执行
26314-M3-00
3-21
3
4.7
板、部」
监控屏
基准标记校正
26315-M3-00
· 正值 X、YR
”号显别结与基板程入值的比较。
· 正值提高
据校 X、YR 板伸展率。
·
功」未完别动作成功,成」会变功」
3-22
3
4.8 板标
板、部」等坏板标
监控屏
坏板标记
26316-M3-00
· X、Y
输入值 ( 该值参考了拼移量 )
·
结果OKNG」的断。
OK 已失败,业。
NG 板标别已成功,不进作业