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维修 调 整 要 领 书 6-2 更换排出器 1 ）请使本体左下方的手柄阀置于关闭状态。 2 ）拆下 φ4 气管①、φ6 气管②。 3 ）卸下 CAL VCUM SV 组的线束③。 4 ）请取下安装螺钉④（ 2 颗），更换 CAL VCUM SV 组。 5 ）安装请按相反的步骤进行。 切断空气 过滤器⑤的更换即使不切断供气也可进行。 货号 P F0 100 030 A0 品名 A IR SUCTI ON FILTER 关闭状态 打开状态…
维修调整要领书
6 CAL
6-1 CAL 基板组的更换
1） 卸下插入基板的 2 根束线①。
2）从弯管拔下 φ4 空气软管②。
3） 卸下 2 处的Ｍ 3 带垫片螺丝③，从 CAL 侧护罩拉下基板，卸下 φ4 空气软管，
这样就可以取出 CAL 基板组。
4） 基板更换后，请按照相反的程序组装。
6-1
维修调整要领书
6-2 更换排出器
1）请使本体左下方的手柄阀置于关闭状态。
2）拆下 φ4 气管①、φ6 气管②。
3）卸下 CAL VCUM SV 组的线束③。
4）请取下安装螺钉④（2 颗），更换 CAL VCUM SV 组。
5）安装请按相反的步骤进行。
切断空气
过滤器⑤的更换即使不切断供气也可进行。
货号 PF0100030A0 品名 AIR SUCTION FILTER
关闭状态 打开状态
6-2
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7 R-ATC
当更换了 R-ATC 底座时，必须重新取得 MS 参数“原点粗调整”、“ATC 偏差”。
7-1
1） 请关闭主体左下放的阀门。
2） 卸下六角孔螺栓、螺母类，再卸下气缸。
（空气软管 φ ４也卸下。）
7-1-1
3) 请把弯管、浮动接头换装到新的气缸上。
浮动接头请调整到下示尺寸。
螺母类
六角孔螺栓
弯管
浮动接头
7-1