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维修调整要领书 3-2 3-1-2 过滤器的更换 1) 关闭主机的 空气源。 2) 拆下连接到 电磁阀 （φ 4× 4 块 ） 内的空气管 。 拆下过滤器 箱 U 。 （过滤 器箱 U 下面有 O 形环。 注 意不要弄丢 。）过滤器 盒 U 因序列 号而异。 3) 交换过滤器 。请看下 面的图。 ※ 当过滤器顶部 没有投影时 件号： 400 46646 ※ 当过滤器顶部有突起 时 件号： E3052729000 4) 装配请按相 反的步…
维修调整要领书
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3-1 电磁阀装置
3-1-1 电磁阀的更换
1) 关闭主机的空气源。
2) 拆下贴装头 SV 托架。请参照 2-1-6【Z 马达的更换】步骤。
3) 根据需要从贴装头 SV 托架上拆下电磁阀单元装置。
4) 拆下各电磁阀。（注意避免丢失电磁阀背面的垫圈）
5) 装配请按相反的步骤进行。
6) 更换后请手动控制贴装头真空的 ON/OFF，确认动作。
※ 盆头螺钉（2 个）和垫圈（1 个）是各电磁阀的附属品。
贴装头 SV 托架
真空破坏用电磁阀
真空发生用电磁阀
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3-2
3-1-2 过滤器的更换
1) 关闭主机的空气源。
2) 拆下连接到电磁阀（φ4×4 块）内的空气管。拆下过滤器箱 U。（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注
意不要弄丢。）过滤器盒 U 因序列号而异。
3) 交换过滤器。请看下面的图。
※ 当过滤器顶部没有投影时 件号：40046646
※ 当过滤器顶部有突起时 件号：E3052729000
4) 装配请按相反的步骤进行。
5) 更换后请用手动控制贴装头真空 ON/OFF 的方式进行确认。
3-1-3 大气开放用过滤器的更换
1) 关闭主机的空气源。
2) 拆下连接到电磁阀的电缆。
3) 拆下防脱落金属配件，更换大气开放用过滤器。
4) 装配请按相反的步骤进行。
大气开放用过滤器
（防脱落金属 盆头螺钉（x4）
过滤器③
件号：
E3052729000
过滤器
螺丝钉
过滤框
U
薄
突起
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3-3
3-1-4 HMS 的更换
1) 拆下 HMS 传感器感应头。
2) 在 CAL 部上面之间的距离被组装至 100±0.2mm。
3) 组装完成后，请取得偏差 HMS 传感器的 MS 参数。
HMS
传感器
内六角螺栓
M3 L=25
带垫片内六角螺栓
M3 L=6
CAL 部上面
10
0±0.2mm