FX-1R_MS参数.pdf - 第29页
Rev.2.00 MS 参数 3-6． 动作规格 3-6-1． 功能 设定各轴的动作和传送动作的详细规格。 3-6-2． 使用夹具 本设定不使用夹具。 3-6-3． 操作 选择了 [ 初期设定 （ Ｉ） ][ 动作规格 （ Ｓ ） ...] 之后， 下面的画面显示出来。各项目请用黑点选择动作规 范。 3 － 6 － 3 － 1 ．动作规范（传送基本设置） 选择动作规范 （传送基本设置）之后，左 面的画面显示 出来。请用黑点选择动作规 范…
Rev.2.00
MS 参数
3－5－3－2．单元(其它)
选择了单元(其它)之后，下列的画面被显示出来。
安装的单元变更为未安装之后，机器设置的“使用
单元”对应的装置自动地变成“不使用”。
追加单元等由未安装变更未安装之后，机器设置
的“使用单元”对应的装置自动地变更“使用”。
3－5－3－3．选项(其它)
选择了选项(其它)之后，下列的画面被显示出来。
用黑点选择安装的单元。
把安装的单元变更为未安装之后，机器设置的
“使用单元”对应的装置自动地变成“不使用”。
追加单元等把未安装变更为安装之后，机器设置的“使用单元”对应的装置自动地变更为“使用”。
3-8
Rev.2.00
MS 参数
3-6．动作规格
3-6-1．功能
设定各轴的动作和传送动作的详细规格。
3-6-2．使用夹具
本设定不使用夹具。
3-6-3．操作
选择了[初期设定（
Ｉ）][动作规格（Ｓ）...]之后，下面的画面显示出来。各项目请用黑点选择动作规
范。
3－6－3－1．动作规范（传送基本设置）
选择动作规范（传送基本设置）之后，左
面的画面显示出来。请用黑点选择动作规
范。
3-9
Rev.2.00
MS 参数
Ｎｏ
项目 设定内容
１
１－１．
连接规格 连接规格
（×）：标准规格(初期值)
●基板传送时间（其它设定全部初期值）
●
基板送出时间（其它设定全部初期值）
（ ）：ＳＭＥＭＡ
●
基板送入时间（其它设定全部初期值）
●
基板送出时间（其它设定全部初期值）
※注： 部与ＯＮ／ＯＦＦ状态无关。
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ Ｎ ＯＦＦ
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ Ｎ ＯＦＦ
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ Ｎ ＯＦＦ
ＯＮ
ＩＮ传感器 ＯＦＦ
ON
IN 马达 ＯＦＦ
ON
WAIT 传感器 ＯＦＦ
ON
STOP 传感器 OFF
ON
READY OUT OFF
Board ＯＮ
ＡｖａｉｌａｂｌｅＩ Ｎ ＯＦＦ
3-10