FX-1R_MS参数.pdf - 第63页
Rev.2.00 MS 参数 ＜操作 · ３／４＞ 通过示教， 求活动轨道内侧的 Y 坐标， 然 后按 HOD 的确定键。 示教完毕，用求的 Y 坐 标计算新的偏差 值。 准备完毕，选择确定键。 ＜操作 · ４／４＞ 设定完毕。 选择了确定键之后，返回到初始画面。 4-7-1-4 ．ＭＳＰ允许值 MSP 值不良时 No. 项目 MSP 允许值 异常点 调整 ( 检查 ) 项目 1 原点偏差 ±3mm 原点复位动作不良 基板宽度自动调 整…
Rev.2.00
MS 参数
4-7．传送偏差
4-7-1．AWC 偏差（选购）
4-7-1-1．功能
示教原点复位时的传送宽度，以便 AWC 能正确动作。
4-7-1-2
．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-7-1-3
．操作
选择了[偏差设定（Ｏ）][传送偏差（Ｒ）][ＡＷＣ偏差（Ａ）...]之后，显示出下面的调整ＡＷＣ偏差
的设定画面。
＜操作·１／４＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，AWC 原点复位，OCC
移动到基准轨上。
原点在最大基板宽度附近。
＜操作·2／４＞
通过示教，求基准轨道内侧的 Y 坐标，然
后按
HOD 确定键。
准备完毕，请选择确定键。
选择确定键之后，OCC 移动到可动轨上。
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Rev.2.00
MS 参数
＜操作·３／４＞
通过示教，求活动轨道内侧的 Y 坐标，然
后按
HOD 的确定键。
示教完毕，用求的 Y 坐标计算新的偏差
值。
准备完毕，选择确定键。
＜操作·４／４＞
设定完毕。
选择了确定键之后，返回到初始画面。
4-7-1-4
．ＭＳＰ允许值
MSP
值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏差
±3mm
原点复位动作不良
基板宽度自动调整时的设定宽度
不良
AWC 马达的组装
（原点传感器和变换器的位
置）
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Rev.2.00
MS 参数
4-7-2．中心 AWC 偏移量
4-7-2-1．功能
示教原点复位时的传送宽度，以便中心 AWC 正确地动作。
4-7-2-2
．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-7-2-3
．操作
选择了[偏移量设定（Ｏ）][传送偏移量（Ｒ）][中心ＡＷＣ偏移量（Ｃ）...]之后，下列的中心ＡＷＣ偏
移量设定画面被显示出来。
＜操作·１／４＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定之后，运行中心 AWC 返回到
原点后，
OCC 移到基准通道上面。
原点在最大基板宽度附近。
＜操作·２／４＞
请示教基准通道的 Y 边界位置。
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，OCC 移到活动通道上
面。
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