FX-1R_MS参数.pdf - 第80页
Rev.2.00 MS 参数 4-14． 真空校准 4-14-1． 功能 比较组装装置时工厂取得的 MS 参数的真空值和自我校准取得的现在值分析故障。通常， MS 参数的 操作只在工厂进行，不需要重新取得。操作仅进行自我校准。 4-14-2． 使用夹具 本设定不使用夹具。 4-14-3． 操作 选择了 [ 偏差设定（ Ｏ） ][ 真空校准 ] 之后，显示出真空校准的画面。 ＜操作 ・ １／４（达到真空状况）＞ 选择用设定贴装头测定的贴装…
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MS 参数
＜操作·９／９＞
设定完毕。
选择了确定键之后，返回初始画面。
※直接输入坐标值，把游标对准坐标值，进行示教也可以取得坐标值。
※初期值的缺省以外是校准部的中央。
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MS 参数
4-14．真空校准
4-14-1．功能
比较组装装置时工厂取得的 MS 参数的真空值和自我校准取得的现在值分析故障。通常，MS 参数的
操作只在工厂进行，不需要重新取得。操作仅进行自我校准。
4-14-2．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-14-3．操作
选择了[偏差设定（Ｏ）][真空校准]之后，显示出真空校准的画面。
＜操作・１／４（达到真空状况）＞
选择用设定贴装头测定的贴装头，按照操
作程序进行操作。
首先，测定“达到真空状况”。打开真空电
磁阀之后，就可以确定贴装头的真空传感
器和
ATC 真空传感器的测定值是如何变
化的。
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MS 参数
显示的曲线图表和画面测定值图下所示。
标准值如下所示。
贴装头真空传感器的测定值
V
.CAL 真空传感器的测定值
66.7kPa
6.67kPa
达到真空时间
达到真空压力
开始真空时间
Head V. CAL
到达真空压力 -82～-88Kpa -80～-90Kpa
达到真空时间 25～40ms 25～45ms
开始真空时间 5～10ms 10～15ms
选择了 OK 之后，返回原来的画面。
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