FX-1R_MS参数.pdf - 第62页
Rev.2.00 MS 参数 4-7． 传送偏差 4-7-1． AWC 偏差（选购） 4-7-1-1 ． 功能 示教原点复位时的传送宽度，以便 AWC 能正确动作。 4-7-1-2 ．使用夹具 本设定不使用夹具。 4-7-1-3 ．操作 选择了 [ 偏差设定（ Ｏ ） ][ 传送偏差（ Ｒ ） ][ ＡＷＣ偏差（ Ａ） ...] 之后，显示出下面的调整ＡＷＣ偏差 的设定画面。 ＜操作 · １／４＞ 准备完毕，请选择确定键。 选择了确定键…
Rev.2.00
MS 参数
＜操作·４／７＞
根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协
调传送通道的边界。准备完毕，请选择确
定键。选择了确定键之后，左
OCC 移动
到出口缓冲器的基准通道边界位置。
＜操作·５／７＞
请用左摄像机，示教基准通道的边界位
置。准备完毕，请选择确定键。选择了
确定键之后，使左
OCC 平行移动(对 X
轴)。
＜操作·６／７＞
根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协
调传送通道的边界。
准备完毕，请选择确定键。
＜操作·７／７＞
设置完毕。
选择确定键，返回初始画面。
4-6-4．MSP 允许值
MSP
值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏移量
±5mm
原点复位动作不良
基板传送不良
Y 台的组装精度
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Rev.2.00
MS 参数
4-7．传送偏差
4-7-1．AWC 偏差（选购）
4-7-1-1．功能
示教原点复位时的传送宽度，以便 AWC 能正确动作。
4-7-1-2
．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-7-1-3
．操作
选择了[偏差设定（Ｏ）][传送偏差（Ｒ）][ＡＷＣ偏差（Ａ）...]之后，显示出下面的调整ＡＷＣ偏差
的设定画面。
＜操作·１／４＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，AWC 原点复位，OCC
移动到基准轨上。
原点在最大基板宽度附近。
＜操作·2／４＞
通过示教，求基准轨道内侧的 Y 坐标，然
后按
HOD 确定键。
准备完毕，请选择确定键。
选择确定键之后，OCC 移动到可动轨上。
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Rev.2.00
MS 参数
＜操作·３／４＞
通过示教，求活动轨道内侧的 Y 坐标，然
后按
HOD 的确定键。
示教完毕，用求的 Y 坐标计算新的偏差
值。
准备完毕，选择确定键。
＜操作·４／４＞
设定完毕。
选择了确定键之后，返回到初始画面。
4-7-1-4
．ＭＳＰ允许值
MSP
值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏差
±3mm
原点复位动作不良
基板宽度自动调整时的设定宽度
不良
AWC 马达的组装
（原点传感器和变换器的位
置）
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