FX-1R_MS参数.pdf - 第72页
Rev.2.00 MS 参数 4-11． 映射校正 4-11-1． 功能 由于Ｘ轴的弯曲、 Ｙ台的偏移， 理论坐标系上的目标位置移动发生与物理位置不一致。但是， 识别刻度 板上的标记，根据识别结果修正偏移量，吸收物理性误差。 4-11-2． 使用夹具 ・ 刻度板 4-11-3． 操作 选择了 [ 偏移量设定（ Ｏ） ][ 映射校正（Ｍ ） ...] 之后，下列的映射校正设定画面被显示。 ＜１／１２画面＞ 在凸起画面上选择设定区域。 按 …
Rev.2.00
MS 参数
4-10．ＶＡＣ(真空)－ＣＡＬ(校准)偏移量
4-10-1．功能
设定真空-校准装置的组装位置。
4-10-2．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-10-3．操作
选择了[偏移量设定（Ｏ）][ＶＡＣ－ＣＡＬ偏移量（Ｖ）...]之后，下列的ＶＡＣ－ＣＡＬ偏移量设定
画面被显示。
＜操作·１／３＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，左 OCC 移到真空校
准位置。
＜操作·２／３＞
请用示教，调整真空校准位置。请调整到
监视器的十字游标的中心附近。
准备完毕，请按确定键。
＜操作·３／３＞
设定完毕。
选择了确定键之后，返回初期画面。
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Rev.2.00
MS 参数
4-11．映射校正
4-11-1．功能
由于Ｘ轴的弯曲、Ｙ台的偏移，理论坐标系上的目标位置移动发生与物理位置不一致。但是，识别刻度
板上的标记，根据识别结果修正偏移量，吸收物理性误差。
4-11-2．使用夹具
・刻度板
4-11-3．操作
选择了[偏移量设定（Ｏ）][映射校正（Ｍ）...]之后，下列的映射校正设定画面被显示。
＜１／１２画面＞
在凸起画面上选择设定区域。
按 Alt +↓键，下列一览表被显示。
请在传送通道上安装刻度板。准备完
毕，请选择确定键。选择了确定键之
后，搬入刻度板，进行钳夹。
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Rev.2.00
MS 参数
＜３／１２画面＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，向４点标记的最初标
记位置移动。
＜５／１２画面＞
请用示教，调整标记位置，把监视器的十
字游标调整到标记中心的位置。
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，识别比例尺板的４点
标记，取得比例尺板的倾斜度。
＜７／１２画面＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，移到最初的侧量位置，
识别前部的标记。
＜９／１２画面＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，标记向反映识别结果的
侧量位置监视器中心移动。
＜１０／１２画面＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，识别所有的标记(168
个)，取得校正量进行更新。
フロント側の設定が終了すれ
除特殊情况外，请选择
[确定]。
继续进行后面的设定。设定方法与前面相同。
＜１１／１２画面＞
设定完毕。
准备完毕，选择确定键。
选择了确定键之后，搬出刻度板。
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