FX-1R_MS参数.pdf - 第61页
Rev.2.00 MS 参数 ＜操作 · ４／７＞ 根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协 调传送通道的边界。 准备完毕， 请选择确 定键。选择了确定键之后，左 OCC 移动 到出口缓冲器的基准通道边界位置。 ＜操作 · ５／７＞ 请用左摄像机 ，示教基准通道的边界位 置。准备完毕 ，请选择确定键。选择了 确定键之后，使左 OCC 平行移动 ( 对 X 轴 ) 。 ＜操作 · ６／７＞ 根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协 调…
Rev.2.00
MS 参数
4-6．Y 台偏移量
4-6-1．功能
示教可以传送位置，以让 Y 台正常动作。
4-6-2．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-6-3．操作
选择了[偏移设定（Ｏ）][Y台默认偏移量（Y）...]之后，下列的Y台偏移量设定画面被显示出来。
＜操作·１／７＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，Y 台返回到原点，移
动到检测位置
(可以传送位置＝144mm）。
＜操作·２／７＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，左 OCC 移到入口缓冲
器的基准通道边界位置。
＜操作·３／７＞
请用左录像机，示教基准通道的边界位置。
准备完毕，请选择确定键。选择了确定键之
后，使左
OCC 对 X 轴平行移动，移动到中
心缓冲器的基准通道上。
4-25
Rev.2.00
MS 参数
＜操作·４／７＞
根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协
调传送通道的边界。准备完毕，请选择确
定键。选择了确定键之后，左
OCC 移动
到出口缓冲器的基准通道边界位置。
＜操作·５／７＞
请用左摄像机，示教基准通道的边界位
置。准备完毕，请选择确定键。选择了
确定键之后，使左
OCC 平行移动(对 X
轴)。
＜操作·６／７＞
根据 Y 台示教，在监视器的 X 轴上，协
调传送通道的边界。
准备完毕，请选择确定键。
＜操作·７／７＞
设置完毕。
选择确定键，返回初始画面。
4-6-4．MSP 允许值
MSP
值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏移量
±5mm
原点复位动作不良
基板传送不良
Y 台的组装精度
4-26
Rev.2.00
MS 参数
4-7．传送偏差
4-7-1．AWC 偏差（选购）
4-7-1-1．功能
示教原点复位时的传送宽度，以便 AWC 能正确动作。
4-7-1-2
．使用夹具
本设定不使用夹具。
4-7-1-3
．操作
选择了[偏差设定（Ｏ）][传送偏差（Ｒ）][ＡＷＣ偏差（Ａ）...]之后，显示出下面的调整ＡＷＣ偏差
的设定画面。
＜操作·１／４＞
准备完毕，请选择确定键。
选择了确定键之后，AWC 原点复位，OCC
移动到基准轨上。
原点在最大基板宽度附近。
＜操作·2／４＞
通过示教，求基准轨道内侧的 Y 坐标，然
后按
HOD 确定键。
准备完毕，请选择确定键。
选择确定键之后，OCC 移动到可动轨上。
4-27