FX-1R_MS参数.pdf - 第65页
Rev.2.00 MS 参数 <操作 · 3/4> 请示教活动通道的 Y 边界。 示教完毕之后, 用得到的 Y 坐标计算新的 偏移量。 准备完毕,请选择确定键。 <操作 · 4/4> 设定完毕。 选择了确定键之后,返回初始画面。 4-7-2-4 .MSP允许值 MSP 值不良时 No. 项目 MSP 允许值 异常点 调整(检查)项目 1 原点偏移值 ±3mm 原点复位动作不良 基板宽度自动调 整时设定宽度不 良 组装 AWC 马达 (原…

Rev.2.00
MS 参数
4-7-2.中心 AWC 偏移量
4-7-2-1.功能
示教原点复位时的传送宽度,以便中心 AWC 正确地动作。
4-7-2-2
.使用夹具
本设定不使用夹具。
4-7-2-3
.操作
选择了[偏移量设定(O)][传送偏移量(R)][中心AWC偏移量(C)...]之后,下列的中心AWC偏
移量设定画面被显示出来。
<操作·1/4>
准备完毕,请选择确定键。
选择了确定之后,运行中心 AWC 返回到
原点后,
OCC 移到基准通道上面。
原点在最大基板宽度附近。
<操作·2/4>
请示教基准通道的 Y 边界位置。
准备完毕,请选择确定键。
选择了确定键之后,OCC 移到活动通道上
面。
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Rev.2.00
MS 参数
<操作·3/4>
请示教活动通道的 Y 边界。
示教完毕之后,用得到的 Y 坐标计算新的
偏移量。
准备完毕,请选择确定键。
<操作·4/4>
设定完毕。
选择了确定键之后,返回初始画面。
4-7-2-4
.MSP允许值
MSP 值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏移值
±3mm
原点复位动作不良
基板宽度自动调整时设定宽度不
良
组装 AWC 马达
(原点传感器和变换器的位
置)
4-30

Rev.2.00
MS 参数
4-7-3.支撑台偏移量
4-7-3-1.功能
示教基板厚度=0 时的支撑台的位置,以便支撑台正确地动作。
4-7-3-2
.功能
本设定不使用夹具。
4-7-3-3
.操作
选择了[偏移量设定(O)][传送偏移量(R)][支撑台偏移量(B)...]之后,下列的支撑台偏移量设
定画面被显示出来。
<操作·1/3>
准备完毕,请选择确定键。
选择了确定键之后,支撑台返回到原点
后,移到侧量位置。
<操作·・2/3>
请用示教把支撑台移到基板高度。在传送
皮带与钳夹用部件解除的位置,按
HOD
的确定键。
准备完毕,请选择确定键。
<操作·3/3>
设置完毕。
选择了确定键之后,返回初始画面。
4-7-3-4
.MSP 允许值
MSP 值不良时
No.
项目 MSP 允许值
异常点 调整(检查)项目
1
原点偏移值
±12mm
原点复位动作不良 支撑台的组装制度
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