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Installationsanleitung / Installation Manual SIPLACE SWS Software 2.1 Ausgabe 05/2014 Edition 6 3.4 Restarting the application . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .…
Installationsanleitung / Installation Manual SIPLACE SWS Software 2.1
Ausgabe 05/2014 Edition
5
1 General. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.1 Brief Description . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.2 Scope of Delivery. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.2.1 SWS Software Package . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.2.2 Operating System Package SWS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.3 Requirements. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
1.4 Languages . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
1.5 Legend . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
1.5.1 Where Can You Get Information?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86
1.5.2 SIPLACE on the World Wide Web (WWW). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
1.6 Overview of the Editions. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
2 Installing the Operating System . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
2.1 Creating a Backup of the Installed SWS Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
2.2 Installing the Operating System. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
3 Installation of the SWS Software. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
3.1 Basic Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
3.2 Installation with Network Configuration and Location Assignment. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
3.2.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
3.2.2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
3.3 Installation with Wafer Map Server Network Configuration. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
3.3.1 General . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
3.3.2 Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
Installationsanleitung / Installation Manual SIPLACE SWS Software 2.1
Ausgabe 05/2014 Edition
6
3.4 Restarting the application. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 131
3.5 Importing the backup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 132
4 Update Installation and Backup. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
4.1 Update. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 137
4.2 Backup of Operating System and SWS Software . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 145
4.3 Restoring Older Software Versions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 153
5 Troubleshooting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 161
Installationsanleitung SIPLACE SWS Software 2.1
Ausgabe 05/2014
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1 Allgemeines
1.1 Kurzbeschreibung
In dieser Anleitung finden Sie die Installationsanleitung für das Betriebssystem und die Software
(Steuerungs- und Bediensoftware) des SIPLACE Wafer Systems (SWS). Ebenso die
Beschreibung der Sicherung- und Wiederherstellungs-Szenarien. 1
1.2 Lieferumfang
Das Betriebssystem und die Software (Steuerungs- und Bediensoftware) des SIPLACE Wafer
Systems (SWS) wird vorinstalliert und mit dem SWS Modul ausgeliefert. 1
1.2.1 Softwarepaket SWS
Für die Installation der aktuellen SWS Software benötigen Sie zwei Dateien. Diese müssen sich
auf einen USB-Stick befinden. 1
– SIPLACE SWS Software 2.1
– SWS_<versionsnummer>_bin.tgz
– update_sw.tgz
– Halcom Lizenz auf USB-Stick (Software ist vorinstalliert)
1.2.2 Betriebssystempaket SWS
Für die Installation des aktuellen SWS Betriebssystems benötigen Sie eine iso-Dateien. Diese
muss sich auf einer DVD befinden. 1
– SWS Betriebssystem Version 1.1.1
– ISO-Image (*.iso)
1.3 Voraussetzungen
Die Rechner-Hardware wird mit den relevanten Systemanforderungen zusammen mit dem
SIPLACE Wafer System (SWS) ausgeliefert. 1