KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第250页
4 - 147 (1) 操作 操作 操作 操作 ① 搬送動作 基板を搬入するか，搬出するかをリストから選択します。 ② 入口バッファ／出口バッファ （ KE2030 のみ） どちらのバッファに搬入ま たは搬出するか選択します 。デフォルトでは両方のバ ッファが 選択されています。既にバッファ上に基板が搬入されている場合は選択できません。 ③ BOC アライメント 基板搬入直 後にＢＯ Ｃアライメント を実施するかを 選択しま す。「…
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4-12-1.
搬送
搬送搬送
搬送
4-12-1-1.
基板ロード
基板ロード基板ロード
基板ロード
/
基板搬出
基板搬出基板搬出
基板搬出
基板の搬入および搬出を行うことができます。
メニュー選択後，軸を安全位置に待避するため以下のダイアログが表示されます。安全を確認して
＜スタート＞ボタンを押してください。
図
図図
図
4-12-1-1-1
安全確認ダイアログ
安全確認ダイアログ安全確認ダイアログ
安全確認ダイアログ
軸を安全位置に待避後，以下の基板搬送ダイアログが表示されます。
図
図図
図
4-12-1-1-2
基板搬送ダイアログ
基板搬送ダイアログ基板搬送ダイアログ
基板搬送ダイアログ
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(1)
操作
操作操作
操作
①
搬送動作
基板を搬入するか，搬出するかをリストから選択します。
②
入口バッファ／出口バッファ
（
KE2030
のみ）
どちらのバッファに搬入または搬出するか選択します。デフォルトでは両方のバッファが
選択されています。既にバッファ上に基板が搬入されている場合は選択できません。
③
BOC
アライメント
基板搬入直後にＢＯＣアライメントを実施するかを選択します。「操作オプションに従
う」を選択した場合は，操作オプション設定のティーチング項目の設定が適用されます。
(2)
状態
状態状態
状態
現在の基板搬送の内容および動作状況が逐次表示されます。
搬送を実行するには
<
スタート
>
ボタン（または
<
実行
>
）を押します。操作を終了する時は
<
閉じる
>
を押します。搬送途中で，なんらかの理由で動作を取りやめたいときは，
<
ストップ
>
ボタンで停止できます。
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4-12-1-2.
自動基板調整
自動基板調整自動基板調整
自動基板調整
基板搬送幅の調整を行うことができます。
メニューを選択後，以下のダイアログが表示されます。
図
図図
図
4-12-1-2-1
自動基板幅調整ダイアログ
自動基板幅調整ダイアログ自動基板幅調整ダイアログ
自動基板幅調整ダイアログ
(1)
基板幅の移動
基板幅の移動基板幅の移動
基板幅の移動
基板外形寸法＋余裕幅を合わせた幅長に搬送幅を移動させます。実行時の搬送幅の値は以下項
目の設定値が適用されます。
(2)
基板外形寸法
基板外形寸法基板外形寸法
基板外形寸法
基板外形寸法をスピンボタンまたは数値入力で設定します。デフォルトは基板データの基板
外形寸法（Ｙ）が代入されています。