KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第404页
6 - 82 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 ◇ 基板搬入中の場合（継続生産を行う、または、行わない場合も同じ。） ④ 同時生産、順次混合で基板搬入中、両ステーションに基板がある場合。 入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可 ） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可） ⑤ 入口ステーショ ン 基板搬入中 （入口ステーショ ンの片側生産…
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生産開始前処理ダイアログにて選択された後の動作説明を
生産開始前処理ダイアログにて選択された後の動作説明を生産開始前処理ダイアログにて選択された後の動作説明を
生産開始前処理ダイアログにて選択された後の動作説明を
下記に示します。
下記に示します。下記に示します。
下記に示します。
Ⅰ．
継続生産ファイルがある場合
（１）再クランプを行う場合（継続生産を行う場合。）
◇
生産動作を中断した場合
① 同時生産、順次混合 生産中、両ステーションに基板がある場合。
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
② 入口ステーション 生産中（入口ステーションの片側生産、または、順次混合で入口ステー
ションでの生産中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
③ 出口ステーション 生産中（出口ステーションの片側生産、または、順次混合で出口ステー
ションでの生産中。または、同時生産で搬入待ちタイムアウトとなり出口ステーションの
みの生産）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
◇
基板搬入中の場合（継続生産を行う、または、行わない場合も同じ。）
④ 同時生産、順次混合で基板搬入中、両ステーションに基板がある場合。
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
⑤ 入口ステーション 基板搬入中（入口ステーションの片側生産、または、順次混合で入口
ステーションでの生産中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
⑥ 出口ステーション 基板搬入中（出口ステーションの片側生産、または、順次混合で出口
ｽステーションでの生産中。または、同時生産で搬入待ちタイムアウトとなり出口ステー
ションのみの生産）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
◇ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合
。
⑦
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
↓
↓↓
↓
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーションへ送り再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ｽﾃｰｼｮﾝの基板を搬出した後、入口ステーシ
ョン上の基板を出口ステーションで再クランプし、継続生産を開始します。
⑧
出口ステーションの生産中で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（生産開始前処理ダイアログ（継続生産ファイルがない場合）で、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーション上に再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を出口ステーションで再クランプし、生産（新規または再開生産）を開
始します。