KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第405页
6 - 83 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 ◇ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合 。 ⑦ 順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。 （継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時） 搬入側（待ち） 入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ） 搬出側（待ち） 搬入側 入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出 口 ｽﾃｰｼｮﾝ （搬出する） …
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
◇
基板搬入中の場合（継続生産を行う、または、行わない場合も同じ。）
④ 同時生産、順次混合で基板搬入中、両ステーションに基板がある場合。
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
⑤ 入口ステーション 基板搬入中（入口ステーションの片側生産、または、順次混合で入口
ステーションでの生産中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し）
⑥ 出口ステーション 基板搬入中（出口ステーションの片側生産、または、順次混合で出口
ｽステーションでの生産中。または、同時生産で搬入待ちタイムアウトとなり出口ステー
ションのみの生産）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬入中）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（基板無し） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（再ｸﾗﾝﾌﾟ可）
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
◇ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合
。
⑦
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
↓
↓↓
↓
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーションへ送り再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ｽﾃｰｼｮﾝの基板を搬出した後、入口ステーシ
ョン上の基板を出口ステーションで再クランプし、継続生産を開始します。
⑧
出口ステーションの生産中で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（生産開始前処理ダイアログ（継続生産ファイルがない場合）で、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーション上に再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を出口ステーションで再クランプし、生産（新規または再開生産）を開
始します。
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
⑨
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、入口ステーションが生産時に生産が中断され
た場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を再クランプし、継続生産を開始します。