KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第412页
6 - 90 Ⅱ . 継続生産ファイルがない場合 Ⅱ． Ⅱ． Ⅱ． Ⅱ． 継続生産ファイルがない場合 継続生産ファイルがない場合 継続生産ファイルがない場合 継続生産ファイルがない場合 （１）再クランプを行う場合 前頁項目の ＜Ⅰ．継続生産ファイルがある場合＞ を参照下さい。 ◆ 基板搬入中の場合：（④、⑤、⑥）の場合と同様です。 ◆ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合： ⑧ の場合と同様です。 新規生産、または、再…
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行わず（新規生産、再開生産）、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続生
産
生産動作
左
右
左
右
左
右
実行後の動作
①
有り
有り
― ―
②
有り
無し
― ―
③
無し
有り
― ―
基板搬出後、生産開始
前に基板搬入をし、新
規生産あるいは再開
生産（要注意）
④
行わず
基板搬入
後生産
無し
無し
― ―
生産開始前に基板搬
入後、新規生産あるい
は再開生産
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Ⅱ.
継続生産ファイルがない場合
Ⅱ．
Ⅱ．Ⅱ．
Ⅱ．
継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合
（１）再クランプを行う場合
前頁項目の ＜Ⅰ．継続生産ファイルがある場合＞ を参照下さい。
◆ 基板搬入中の場合：（④、⑤、⑥）の場合と同様です。
◆ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合： ⑧ の場合と同様です。
新規生産、または、再開生産で、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左
右
左
右
左
右
実行後の動作
①
有り
有り
−
②
有り
無し
−
③
無し
有り
−
選択不可
④
無し
無し
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑥
有り
有り
−
⑦
有り
無し
−
⑧
無し
有り
−
選択不可
⑨
無し
無し
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑪
有り
有り
−
⑫
有り
無し
−
⑬
無し
有り
−
選択不可
⑭
無し
無し
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
⑲
無し
無し
⑳
ファ
イル
無し
基板搬入
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
生産開始前に基板搬入後、
継続生産
（注）継続生産ファイルが必要となる場合に生産を中断した場合に、継続生産ファイルがない場合、上記状態は全て情報無
しの扱いとなります。
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（２）基板搬入後生産を選択した時に、搬送路上に基板があり、基板搬出をする場合
前頁項目の ＜Ⅰ．継続生産ファイルがある場合＞ を参照下さい。
◆ 生産動作を中断した場合（継続生産ﾌｧｲﾙの使用、未使用にかかわらず）：（④、⑤、
⑥）の場合と同様です。
新規生産、または、再開生産で、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右
左 右
実行後の動作
①
有り
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
②
有り
無し
エラー
③
無し
有り
エラー
④
無し
無し
− −
選択不可
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継続
生産（要注意）
⑥
有り
有り
エラー
⑦
有り
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
⑧
無し
有り
エラー
⑨
無し
無し
− −
選択不可
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継続
生産（要注意）
⑪
有り
有り
エラー
⑫
有り
無し
エラー
⑬
無し
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
⑭
無し
無し
−
−
選択不可
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継続
生産（要注意）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
エラー
（基板がありません）
⑲
無し
無し
− −
選択不可
⑳
ファ
イル
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
（基板がありません）
（注）継続生産ファイルが必要となる場合に生産を中断した場合に、継続生産ファイルがない場合、上記状態
は全て情報無しの扱いとなります。