KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第325页
6 - 3 6-1-3. 基板搬送部の準備 基板搬送部の準備 基板搬送部の準備 基板搬送部の準備 6-1-3-1. 基板搬送部の全体図 基板搬送部の全体図 基板搬送部の全体図 基板搬送部の全体図 図 図 図 図 6-1- 3-1 ① IN センサ ⑪ 入口側ストッパ 21 出口側 BU センサ 31 ＹＣモータ ② OUT センサ ⑫ 入口側Ｘプッシャ 22 出口側センターモータ 32 Ｃ . 基板チャックシリンダ ③ ウェイトセン…
6 - 2
21
20
6
5
4
3
2
1
図
図図
図 6-1-2-2
① ATC ブラケット ⑦ ATC CLOSE センサ
② スライドプレート ⑧ ATC 番号（1∼21）
③ ノズルアウタサポート ⑨ ノズル
④ エアシリンダ ⑩ ATC アングル
⑤ スピードコントローラ ⑪ バルブ
⑥ ATC OPEN センサ
6 - 3
6-1-3.
基板搬送部の準備
基板搬送部の準備基板搬送部の準備
基板搬送部の準備
6-1-3-1.
基板搬送部の全体図
基板搬送部の全体図基板搬送部の全体図
基板搬送部の全体図
図
図図
図 6-1-3-1
①
IN
センサ
⑪
入口側ストッパ
21
出口側
BU
センサ
31
ＹＣモータ
②
OUT
センサ
⑫
入口側Ｘプッシャ
22
出口側センターモータ
32
Ｃ
.
基板チャックシリンダ
③
ウェイトセンサ
（外形基準オプション）
23
ドライブシャフト
(
出口側）
33
Ｓ
.
基板チャックシリンダ
④
IN
モータ
⑬
入口側Ｙプッシャ
24
出口側ストッパ
34
減圧弁
⑤
ドライブシャフト（ＩＮ）
⑭
入口側センタリングピン
25
出口側Ｘプッシャ
（外形基準オプション）
⑥
入口側ストップセンサ
⑮
入口側ＢＵテーブル
（外形基準オプション）
35
ハンドノブ
⑦
入口側Ｃ
.
ＯＵＴセンサ
⑯
入口側ＢＵモータ
26
出口側Ｙプッシャ
⑧
入口側ＢＵセンサ
⑰
ＢＵピン
（外形基準オプション）
⑨
入口側センターモータ
⑱
ドライブシャフト
(
出口側）
27
出口側センタリングピン
⑩
ドライブシャフト
(
入口側）
⑲
出口側ストップセンサ
28
出口側ＢＵテーブル
⑳
出口側Ｃ
.
ＯＵＴセンサ
29
出口側ＢＵモータ
30
ＹＣ原点センサ・
+リミット
センサ・−リミットセンサ
6 - 4
6-1-3-2.
基本的な調整
基本的な調整基本的な調整
基本的な調整
(1)
搬送レール幅の調整
搬送レール幅の調整搬送レール幅の調整
搬送レール幅の調整（図
6-1-3-1
）
1)
ハンドルシャフトにハンドノブ
35
を取付け，生産基板幅＋
1 mm
にセットします。
2)
基板を搬送レールの全域にわたって動かし，スムーズに動くことを確認して下さい。
3)
調整が終了したらハンドノブは，取外し，本体側面にある台に置いて下さい。
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
(2)
センタリングピンの
センタリングピンのセンタリングピンの
センタリングピンの調整
調整調整
調整（外形基準の場合，この項は不要です。）（図
6-1-3-2
，図
6-1-3-3
）
1)
本体の電源をオフし，エアバルブもオフにします。
2)
ガイドブロック
36
を固定している
M4
六角ボルト
37
を添付品ボールレンチで緩めます。
3)
ストッパ⑪
24
を手で動かし，基板の中央付近，切欠けは避けて，生産基板をストッパに
突き当てます。
4)
ガイドブロック
36
をＸ方向にスライドさせ，基板の基準穴とセンタリングピン⑭
27
を
合わせます。この時，ストッパ⑪
24
と基板の間に
0.5mm
のクリアランスを設けて下さ
い。クリアランスが小さすぎると基板がスムーズにセットされない場合があります。
5)
ガイドブロックをガイドレール
38
に矢印の方向に押しつけながら，
M4
六角ボルト
37
を
締め，ガイドブロックを固定して下さい。
①
上記
(2)
の
1)
から
5)
までの調整を電源オン，エアバルブオンの状態でマニュアル
制御の搬送系の個別制御と自動制御を使用しての調整も可能です。
②
センタリングピンを移動した時は，必ずマシンセットアップの基準ピンの位置を
再入力して下さい。入力されないとデータの基準の位置がズレてしまいます。
③
同一仕様の基板の場合，調整の必要はありません。
④
上記
(2)
の
1)
から
5)
までの調整は，電源を入れ，マニュアル制御の搬送系の個別
制御，または自動制御を用いても行えます。（第９章マニュアル制御参照）
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
0.5mm
図
図図
図
6-1-3-2
図
図図
図
6-1-3-3
⑭
27
37
38
36
⑪
24
押付方向
基板
注意：
注意：注意：
注意：