KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09.pdf - 第361页
6 - 39 ３０ 部品残り ７４ No. ２ヘッドが異常 ３５ BGA ホルダエラー ７５ オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ＋ﾘﾐｯﾄ） ７８ Y ホルダーエラー 141 サーボドライバー ON 不能（ Z 軸） ７９ イニシャライズ未完了 145 ソフトリミット（シャトル） ８０ 本体非常停止 151 サーボアラーム ８１ オーバーランエラー（ Z 軸−リミット） 165 バルブ動作不良 ８２ オーバーランエラー（ X 軸−…
6 - 38
８２
左右両方のウィンドウウェッジが塞がれた
エラーを検出しました
２０７
チップ立ち
９０
角度計算中にエラーが発生しました
２０８
異部品
９１
角度計算中にエラーが発生しました
２０９
部品方向異常
９２
角度計算中にエラーが発生しました
２１０
フィーダピッチずれ
③
部品
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
チップ立ち
１７
搭載確認エラー
２
部品落下
３
ベリファイエラー
３３
ＬＬＬ
コリニアリティ
７
未搭載
３４
ＬＬＬ
コプラナリティ
８
異部品エラー
３５
ＬＬＬ
リード数
９
部品吸着ミス
３６
ＬＬＬ
吸着位置
１０
ボール検査
１６
部品廃棄異常
④
供給装置
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
部品切れ
⑤
MTC
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
コマンドエラー
３６
搬送路上基板検出
２
パラメータエラー
４０
シャトル搬送中に吸着完了受信
３
部品切れ
４４
ヘッドの
No.
１
真空センサ異常
４
READY
タイムアウト
４５
シャトルの
No.
１
真空センサ異常
５
ETX
タイムアウト
４６
自動基板幅調整原点未検出
６
同期文字タイムアウト
４８
ティーチングスポット点灯せず
７
レスポンスタイムアウト
４９
MS
パラメータが未入力
８
データエラー
５４
ヘッドの
No.
２
真空センサ異常
９
無効なレスポンス受信
５５
シャトルの
No.
２
真空センサ異常
１０
オフライン時に動作命令
５６
自動基板幅調整脱調検出
１３
トレイスタッカが非ロック状態
６１
ホームポジションエラー（
Z
軸）
１４
吸着エラー（ヘッド）
６２
ホームポジションエラー（
X
軸）
１５
吸着エラー（シャトル）
６３
ホームポジションエラー（
Y
軸）
１６
部品回収不可
６４
No.
１ヘッドが異常
１８
トレイを検出しなかった
６５
シャトルエラー
１９
カバーオープン
６８
シャッタクローズエラー
２４
搬送エラー（ヘッド）
６９
シャッタオープンエラー
２５
搬送エラー（シャトル）
７０
非常停止
２６
サプライ状態
７１
オーバーランエラー（
Z
軸＋リミット）
２８
トレイスタッカ無し
７２
オーバーランエラー（
X
軸＋リミット）
２９
ドアオープン
７３
オーバーランエラー（
Y
軸＋リミット）
6 - 39
３０
部品残り
７４
No.
２ヘッドが異常
３５
BGA
ホルダエラー
７５
オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ＋ﾘﾐｯﾄ）
７８
Y
ホルダーエラー
141
サーボドライバー
ON
不能（
Z
軸）
７９
イニシャライズ未完了
145
ソフトリミット（シャトル）
８０
本体非常停止
151
サーボアラーム
８１
オーバーランエラー（
Z
軸−リミット）
165
バルブ動作不良
８２
オーバーランエラー（
X
軸−リミット）
171
引出要求取消
８３
オーバーランエラー（
Y
軸−リミット）
182
オフライン状態遷移
８４
No.
１ヘッドセンサーエラー
183
サプライ状態遷移
８５
オーバーランエラー（ｼｬﾄﾙ−ﾘﾐｯﾄ）
184 MTC
非常停止押下
８６
インターロック異常
185
リトライアウト
９１
移動不能（
Z
軸）
186
部品切れ
９２
移動不能（
X
軸）
187
サプライ中
９３
移動不能（
Y
軸）
203 MTC
通信エラー（データエラー）
９４
No.
２ヘッドセンサーエラー
204 MTC
通信エラー（通信エラー）
９５
移動不能（シャトル）
205 MTC
通信エラー（手順エラー）
９９
ドア、カバー
SW
エラー
206 MTC
通信エラー（同期エラー）
100
オーバランエラー
207 MTC
通信エラー（電源断エラー）
101 Z
軸系センサエラー
208
トレイデータ段番号指定不正
102 X
軸系センサエラー
209 MTC
セットアップ未使用設定
103 Y
軸系センサエラー
210 STX ETX
無
107 RAM
エラー
211
未定義コマンドコード指定
108
ブレーキ電流異常
212
引出要求多重送信（ウェイト）
109
ホルダーセンサーエラー（
Y
軸）
213
引出要求多重送信（キック）
110
モーター
OFF 214
引出要求の異常動作
111
ソフトリミット（
Z
軸）
215
レスポンスタイムアウト
112
ソフトリミット（
X
軸）
218
イニシャライズ未完
113
ソフトリミット（
Y
軸）
219
オフラインの為、送信不可
115
シャトル系センサエラー
220
エラーダウンの為、動作不可
117 NV
−
RAM
エラー
221 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
MTC
−１）
118
クローズ・オープンセンサエラー
222 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
MTC
−２）
122
ドライバアラーム（
Z
軸）
223 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
MTS
−１）
123
ドライバアラーム（
X
軸）
224 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
MTS
−２）
125
ドライバアラーム（
Y
軸）
225 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
DTS
−１）
128
トレイエラー
226 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｵｰﾌﾟﾝｴﾗｰ（
DTS
−２）
135
シャトルパットチェンジエラー
231 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
MTC
−１）
232 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
MTC
−２）
301
動作エラー
233 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
MTS
−１）
302
リトライオーバー
234 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
MTS
−２）
303
部品切れ
235 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
DTS
−１）
304
オフライン
6 - 40
236 IPC
ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄ
ｸﾛｰｽﾞｴﾗｰ（
DTS
−２）
305
サプライ
241 IPC
送信エラー（
MTC
−１）
306
吸着ミス
242 IPC
受信エラー（
MTC
−１）
402
タイムアウト（
READY
待ち監視
10
秒）
243 IPC
送信エラー（
MTC
−２）
403
タイムアウト（同期文字監視
4
秒）
244 IPC
受信エラー（
MTC
−２）
404
タイムアウト（
ETX
監視
3
秒）
245 IPC
送信エラー（
MTS
−１）
405 MTC
電源
OFF
246 IPC
受信エラー（
MTS
−１）
406
タイムアウト（レスポンス無監視
60
秒）
247 IPC
送信エラー（
MTS
−２）
407
受信データ妥当性エラー
248 IPC
受信エラー（
MTS
−２）
408
リングバッファアクセスエラー
249 IPC
送信エラー（
DTS
−１）
409
タイムアウト（データリンク解放
１）
250 IPC
受信エラー（
DTS
−１）
410
タイムアウト（データリンク解放
２）
251 IPC
送信エラー（
DTS
−２）
411 MTC
通信初期化失敗
252 IPC
受信エラー（
DTS
−２）
⑥
設定
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１
未使用オプション
値
エラー表示内容
値
エラー表示内容
１ コマンドエラー １８
トレイを検出しなかった
２ パラメータエラー ２０
本体カバーオープン
４ READY タイムアウト ２６
サプライ状態
５ ETX タイムアウト ２８
トレイスタッカ無し
６ 同期文字タイムアウト ２９
ドアオープン
７ レスポンスタイムアウト ３０
吸着完了未受信
８ データエラー ４０
トレイ搬送中に吸着完了受信
９ 無効なレスポンス受信 ４９
MS パラメータが未入力
１０
オフライン時に動作命令 ５２
ノーマルモード時スタッカ切替要求
１３
トレイスタッカが非ロック状態 ６１
ホームポジションエラー（Z 軸）
６３
ホームポジションエラー（Y 軸） 133 部品浮きセンサを検出
６８
シャッタクローズエラー 138 スタッカクランプエラー
６９
シャッタオープンエラー 141 サーボドライバーON 不能（Z 軸）
７０
非常停止 151 サーブアラーム
７１
オーバーランエラー（Z 軸＋リミット）
161 テストモード動作タイムアウト
７３
オーバーランエラー（Y 軸＋リミット）
171 引出要求取消
７８
Y ホルダーエラー 182 オフライン状態遷移
７９
イニシャライズ未完了 183 サプライ状態遷移
８０
本体非常停止 184 MTS 非常停止押下
８１
オーバーランエラー（Z 軸―リミット）
185 リトライアウト
８３
オーバーランエラー（Y 軸―リミット）
186 部品切れ