SM481(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第387页
14-41 Machine Cal ibration 14.3.7. Head & Camera Calibration 执行照相机校正功能。 执 行校正的顺序及所需的工具为如下。 Fix Camera Scale Cal ibration (CNT20 Nozzle) Fix Camera Ther mal Origin Fiducial Cameras Offset Cal ibration (Calibrati…
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14.3.6. ANC Pos. Scan
对 ANC顶面的Fiducial Mark 2 点执行示教。补偿前面及后面ANC的相对坐标系。
详细内容请参考 “6.3
基准符号
(Fiducial Mark)
设定
“
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Machine Calibration
14.3.7. Head & Camera Calibration
执行照相机校正功能。执行校正的顺序及所需的工具为如下。
Fix Camera Scale Calibration (CNT20 Nozzle)
Fix Camera Thermal Origin
Fiducial Cameras Offset Calibration (Calibration Tool)
Cameras Offset Calibration (Calibration Glass)
Head Z & R Offset Calibration (CN040 Nozzle)
Light Mapping (LightFly Nozzle)
Head Offset Calibration
Fly Camera Scale & Rotation Calibration
Fly Camera Offset Calibration
Fly
To Fix Offset Calibration
R-Axis Offset Calibration
图
14.13 Head/ Camera/ Light Calibration”
对话框
1:
消息窗
<标准菜单> 领域
选择要Calibration的项目。 按特定项目的按钮则在消息窗依次显示必要的说明。
按照此说明操作，就能完成Calibration。
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<双悬臂> 组合框
选择要执行校正的Gantry。
<目标摄像> 组合框
选择将要设定照明值数的照相机。
<亮度…> 按钮
设定已选择的照相机的照明值数。
14.3.7.1. Fix Camera Scale Calibration
要先执行固定相机的Scale矫正才能执行Fiducial Camera Offset矫正。
首先,示教固定相机顶面的 Fiducial Mark后,利用CNT20吸嘴矫正固定相机的
Scale。
< 5. 固定相机1.> 按钮
为了校正固定相机的Scale(um/pixel)和Rotation(deg)、Position(mm)没有先要执
行的校正，
为了执行此作业必须使用特制的吸嘴用fiducial mark器具。 在 CNT20吸嘴 作为
校正用器具专用ANC Hole使用Hole 1号。
下面是固定相机的Scale的校正(Calibration)步骤。
1. 点击<5. 固定相机1.> 按钮则在消息窗显示 “首先，我们必须把所有吸嘴手动离
开朝向。将Z轴调制低处，点击[下一步]” 为了手动除去贴装在磁头的所有吸
嘴，拉下磁头的Z轴请点击<下个>按钮。