SM481(L)_PLUS_Admin(Chi_Ver2.4).pdf - 第407页
14-61 Machine Cal ibration 8. 显示 “ 下一步 , 把校校正工具从 H1 取下 , 点击 [ 下一 步 ] 头将 向下移动。 移 动完成 , 用手取下工具。 ” 消息。 为了在磁头 1 号的吸嘴支架手动除去 Cali b ration T ool 。 请 点击 < 下个 > 按钮。 9. 请按照对磁头 1 的校正方法， 同样地从 He ad 2~ 10 执行校正。 10. 对 所 有磁头正常完成…
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4. 显示”下一步，将标准工具粘贴在头部1。点击[下一步]向下移动。移动后，手动
粘贴工具到首部。” 消息。在磁头1号的吸嘴支架上手动安装CNT20吸嘴后请点
击 <下个> 按钮。
5. 显示”移动到中心位置校正工具。移动，点击[下一步]。”
6. 显示”准备标准。对于标准，点击[下一步]” 消息。此时,点击 <亮度>按钮，在”
亮度控制”对话框中’SMVision’窗口显示的Calibration Tool上的Ficucial Mark明
显为止调整照明亮度后点击 <下个> 按钮。
7. 自动执行 Calibration后完成 Calibration则如下图显示结果值，请点击 <下个> 按
钮。
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Machine Calibration
8. 显示“下一步, 把校校正工具从H1取下, 点击[下一步]头将向下移动。移动完成,
用手取下工具。” 消息。为了在磁头1号的吸嘴支架手动除去Calibration Tool。 请
点击<下个>按钮。
9. 请按照对磁头1的校正方法，同样地从Head 2~ 10执行校正。
10. 对所有磁头正常完成校正次序如下图显示结果值。要在设备中适用校正值请点
击<确定>按钮。
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11. <Gantry>组合框中选择Gantry2后，与Gantry1相同的方式执行校正。
结果值可在Head Offset对话框中确认。