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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 110 6 图 6.3 - 1 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 (1) 含晶圆支撑件和下按装置板的拉 伸器框架 (2) 加热器风扇 6.3.1 操作安全须知 6 2 1 1 谨慎 高温导致烫伤的危险！ 加热所达到的温度最高可达 60°C。 切勿用手触及风扇周边的区域。 触摸晶圆支撑时应小心。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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可使用 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）选项为两种不同的晶圆支撑 （8" 或 12"）配置 SIPLACE 晶
圆系统 (SWS)。
SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）由以下几种主要的装配件构成。
– 延伸器
延伸器会对晶圆料膜进行延伸，从而提高料膜上各个晶粒之间的距离。 6
– 加热器
加热器由一个加热元件与一个风扇构成。 风扇会将晶圆料膜上的热空气吹走。 这将减少晶圆
料膜的松散现象 （小于 9 mm)，从而使晶圆可被运回至晶圆盘上。 6
请注意
SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）不能在现场进行改造。
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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图 6.3 - 1 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
(1) 含晶圆支撑件和下按装置板的拉伸器框架
(2) 加热器风扇
6.3.1 操作安全须知
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谨慎
高温导致烫伤的危险！
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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图 6.3 - 2 晶圆支撑与 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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