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7 维护 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 版本 04/2018 134
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 7 维护
版本 04/2018
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版本 04/2018
134
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引
版本 04/2018
135
索引
Symbols
《用户手册》
内容与存放
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
重要说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31
C
CO . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
D
DCA . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
E
EMC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
EMERGENCY STOP （急停）按钮 . . . . . . 98, 99
ESD
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33, 57
ESD 安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46
ESD 使用说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57
F
FC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
G
GND . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
L
LCD 触摸屏 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99
LDU
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .105
P
PCB . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
S
SC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33
SIPLACE 晶圆系统
检查主电源
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
能量状况
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .53
性能数据
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .59
压缩空气条件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
SIPLACE 晶圆系统的序列号
. . . . . . . . . . . . . . . 12
SIPLACE 晶圆系统的重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . 81
SIPLACE 晶圆系统任务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 89
SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
. . . . . . . . . . . 38
SMD
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
SWS
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
U
USB 连接 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
X
X 单元 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
Z
安全功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 49
安全开关
元件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 52
安全须知
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
关于传送导轨
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
安装位置的基础设施
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
班次更换时的任务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
变压器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
不按规定使用
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
残余电流保护装置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
残余电压
在主电源开关关闭后
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 53
操作安全须知
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 45
操作员和其他人员的安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . 37
操作员级别
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
高级生产
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
生产
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
维修 SIPLACE
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
维修 （客户）
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 30
尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61
充电，静电 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
刺穿型顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
倒装单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22, 64, 66
检查工具
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
检查弃置箱
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96
检查吸嘴
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95