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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引 版本 04/2018 137 主电源 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85 检查 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 6 危险提示 . . . . . . . . . . . . . . .…

100%1 / 140
索引 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
版本 04/2018
136
倒装片处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
调试
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
顶针
配置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
段位器 1
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
段位器 2
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
额定值
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
非刺穿型顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
符合性声明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13
工厂和设备的安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 37
工具支撑件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
供应单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64
挂牌程序 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
环境压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
环境要求
环境压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
计算机单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
技术数据
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 59
夹持单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 70
夹持器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 75, 78
键盘
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99
晶粒贴附处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20
晶粒贴附单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20, 22, 106
晶粒推送器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 73
晶圆布局图文件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
晶圆交换器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
晶圆交换系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
晶圆料膜
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68, 74
晶圆盘
插入到升降机中
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 90
晶圆盘滑入
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76
晶圆盘升降机
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 64, 75
晶圆锁定杆 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
晶圆台
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
晶圆相机
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 69
晶圆支撑件
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 66, 70, 71
警告标签
W201
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W204
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 38, 39, 40
W206
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39
W210
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 39, 41
静电充电
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 57
空气湿度
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
控制部件
总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
控制部件的人体工程学布局
. . . . . . . . . . . . . . . 100
控制部件和显示屏
人体工程学布局
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
说明
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
位置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
每个单元区域的承重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
培训
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29, 56
培训等级
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
请按规定使用 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13, 36
设备重量
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
设置
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
拾取处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22
拾取和转送处理细节
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 23
室内温度
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
释放压力
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
授权员工。
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
缩略语
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
锁定 SIPLACE 晶圆系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . 55
条形码扫描仪
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78, 107
停用压缩空气供给
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 54
推拉门，功能
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
推拉门的功能 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 50
推送处理
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
推送顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
推送工具
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 73, 74
推送系统
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
配置顶针
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 91
危险符号，惯例
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
危险符号的使用惯例
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 35
危险提示
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
温度范围
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
吸嘴交换器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
吸嘴拾起器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 68
显示屏
总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
显示器
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
线性浸渍单元
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
修订，总览
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
修订表
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 32
选项
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
用户界面
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
用于位置识别的插销 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71
有资质人员
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
噪音排放
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14
责任和义务
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 56
真空帽
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 74
制造商 / 供应商的责任
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
重量和表面负载
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 索引
版本 04/2018
137
主电源
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
检查
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86
危险提示
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85
主电源开关位于 OFF （关）位置
. . . . . . . . . . . .51
主开关 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98, 99, 100
主开关位于 ON （开）位置
. . . . . . . . . . . . . . . .51
注意事项
关于操作安全
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .36
装运包装
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
装运包装的尺寸
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81
资质 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .29
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版本 04/2018
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