00198373-01_UM_SWS-ZH.pdf - 第62页
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.2 环境条件和连接值 版本 04/2018 62 3.2.5.1 尺寸总览 3 图 3.2 - 1 测量值总览 - SIPLACE 晶圆系统 (1) 1650 mm (2) 650 mm (3) 1479 mm (4) 510 mm
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值
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3.2.4 压缩空气规格
3
3.2.5 尺寸和重量
3
压缩空气供给
压缩空间压力值
p
最小
p
最大
0.5 MPa = 5.0 bar
1.0 MPa = 10 bar
操作气压 0.48 MPa ± 0.025 MPa (4.8 bar ± 0.25 bar)
压缩空气连接 至 SIPLACE CA4 V2 的塑料软管 PUN 6
压缩空气规格
颗粒大小 0.1 µm
颗粒密度 0.1 mg/m³
最大含油量 （1 级） 颗粒密度 0.01 mg/m³
压力露点 （4 级） 露点 +3°
长度 1650 mm
宽度 650 mm
SWS 的高度
推拉门打开
1479 mm
1940 mm （930 mm PCB 传送导轨高度时）（默认）
1910 mm （900 mm PCB 传送导轨高度时）（选件）
1960 mm （950 mm PCB 传送导轨高度时）(SMEMA)
重量
不带晶圆盘 350 kg
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3.2 环境条件和连接值 版本 04/2018
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3.2.5.1 尺寸总览
3
图 3.2 - 1 测量值总览 - SIPLACE 晶圆系统
(1) 1650 mm
(2) 650 mm
(3) 1479 mm
(4) 510 mm
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版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值
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3.2.6 SWS 的重心
3
图 3.2 - 2 SWS 的重心
3
重心坐标：
SWS X 坐标
Y 坐标
0 mm
650 mm