00198373-01_UM_SWS-ZH.pdf - 第27页
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍 版本 04/2018 1.2 功能说明 27 1 图 1.2 - 10 倒装旋转轴的初始化 （基本原则） (1) 机械停止 (2) 原点传感 器 原点传感器被用于初始化倒装旋 转轴。 在初始化期间旋转轴将缓 慢移动，直到原点传感器被触 发。 之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。 通过这个操作倒装旋转轴的零点 位置将被定义。 弃置箱 2 号段位器 弃置箱…
1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.2 功能说明 版本 04/2018
26
1.2.4.4 倒装片经编码位置 （校准后）
1
1
图 1.2 - 9 倒装片经编码位置 - 校准后 （基本原则）
0°
原点传感器位置
180°
转送位置，段位器 1
125°
相机 “ 自由 ” 位置，1 号段位器
96°
触发位置，段位器 1
105°
原点偏移位置
83°
触发位置，段位器 2
58°
相机 “ 自由 ” 位置，2 号段位器
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 1 介绍
版本 04/2018 1.2 功能说明
27
1
图 1.2 - 10 倒装旋转轴的初始化 （基本原则）
(1) 机械停止
(2) 原点传感器
原点传感器被用于初始化倒装旋转轴。 在初始化期间旋转轴将缓慢移动，直到原点传感器被触
发。 之后将在旋转轴的一个 0-30° 的区域内查找第一个零脉冲。 通过这个操作倒装旋转轴的零点
位置将被定义。
弃置箱
2 号段位器
弃置箱
1 号段位器
1. 机械停止
2. 原点传感器
1 介绍 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
1.2 功能说明 版本 04/2018
28
1
图 1.2 - 11 倒装头 / 晶粒贴附段位器的位置
倒装头的转送位置，拾取和释放位置，以及贴片头晶粒贴附段位器的转送位置。
75°
倒装单元转送位置
105°
晶粒贴附转送位置
230°
吹气单元位置晶粒贴附