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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 118 6.3.6 转换 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 为了能通过 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"） ，您需要转换 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 。 您可以按照以下方式订购 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） ： – 00519717-x…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.5.2 设置
图 6.3 - 5 晶圆支撑 - 设置框架宽度
将四个点 (1) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (2) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (3) 上的螺钉拧松并将其安装在所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
将相关点 (4) 上的螺钉取下并将其安装到所需的位置 （FF105 或 FF 108）。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.6 转换 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
为了能通过 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"），您需要转换
SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）。
您可以按照以下方式订购 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）：
– 00519717-xx 12 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 03079734-xx 8 英寸改装套件
或
– 00519719-xx 8 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 00519720-xx 12 英寸改装套件
以下说明描述了从一个 8" 到 12" 晶圆支撑的转换过程（另请参阅 表 12" 转换至 8 的差异，第 131
页）。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.6.1 12" 晶圆扩充器改装套件中的部件
图 6.3 - 6 12" 晶圆支撑改装套件中的部件
(1) 传感器 1 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(2) 传感器 2 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(3) 挡块 （含夹具所用的紧固螺钉）
(4) 用于固定起吊活塞的辅助工具 [ 部件号 03121551-xx] 已提供，并且以后会将其包含在 SWS
的服务箱中。
(5) 行程环
(6) 左右下按装置板
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