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4 设置与调试 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 4.2 安装位置的基础设施 版本 04/2018 88
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 4 设置与调试
版本 04/2018 4.2 安装位置的基础设施
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4.2.4 移除运输锁
– 移除作为运输锁附于各组件上的所有胶带和扎带：
– 弃置箱使用灰色胶带固定
– X 轴晶圆台使用扎带固定
– Y 轴晶圆台使用扎带固定
– 夹持器使用扎带固定
– 倒装单元使用扎带固定
– 晶圆交换器馈入轴 （如有）
4.2.5 去除导轨的防腐蚀保护
检查 SWS 是否涂覆了防腐蚀保护剂。 在设置 SWS 前必须将其清除。
4
4
4.2.6 电源
在完成最后的调试后，将 SWS 连接到电源上。
谨慎
缩短轴承和导轨的生产寿命！
如果轴上的防腐蚀保护剂与轴承润滑脂混合，会明显降低轴承和导轨的使用寿命。
因此在调试期间首次来回移动贴片机轴时，应该先去掉所有轴和轴承上的防腐保护
物。
使用维护说明中介绍的润滑脂为所有轴和轴承润滑。
谨慎
损坏轴承润滑脂的危险！
酒精会破坏导轨槽中的轴承润滑脂。
在清洁导轨和光栅尺时，请确保没有酒精进入引导推车中。
4 设置与调试 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
4.2 安装位置的基础设施 版本 04/2018
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
版本 04/2018 5.1 填充晶圆盘
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5SWS 任务
本章包括若干个可以帮助您在 SIPLACE 生产线上完成日常作业的主题。 例如，通过本章内容，
您可以了解到能够最大程度减少停机的预防性措施，从而在生产过程中最大限度地提高 SIPLACE
生产线的效率。
5
5.1 填充晶圆盘
用晶圆框重新装满晶圆盘。晶圆框的对中卡槽必须对着晶圆盘的开口。
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请注意
有资质人员正确使用
使用不正确可能对生命和肢体造成伤害并可能造成设备损失。
只有具备相关资质的人员才可以运行、操作 SIPLACE 晶圆系统或对其进行作业。 更
多相关信息，请参见第 14
页第 1.1.5 节。
必须通过接受培训或工作人员授课指导获取这些资质证明。 这些授课指导必须由经
过 SIPLACE 培训和授权的人员提供。 有关培训课程总览，请参阅第 29
页第 1.3
节。
请注意
为 5、4 或 7 英寸的晶圆使用晶圆框适配器时，请确保您仅使用每第二个卡槽。