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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件 版本 04/2018 3.3 模块总览 65 3 图 3.3 - 2 SWS 供应单元前视图 3 (1) 电子单元 前 (2) 计算机单元 (3) 变压器 (4) 压力开关 (5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀 (7) 保护盖 3 2 1 7 6 5 4
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.3 模块总览 版本 04/2018
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3.3 模块总览
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图 3.3 - 1 SWS 总览
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(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或 LDU X）的安装
位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.3 模块总览
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图 3.3 - 2 SWS 供应单元前视图
3
(1) 电子单元 前 (2) 计算机单元
(3) 变压器 (4) 压力开关
(5) 主电源滤波器 (6) 电磁阀
(7) 保护盖
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3.3 模块总览 版本 04/2018
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图 3.3 - 3 SWS 组件总览
(1) 夹持单元 (2) 晶圆相机
(3) 倒装单元 (4) 晶圆支撑件
(5) 导轨
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