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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 129 安装行程环 6 图 6.3 - 16 晶圆支撑 - 安装行 程环 插入行程环 (1)。 将四个弹簧 (3) 插入 至四个孔中。 将四个固定盘 (2) 安装就位。 使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。 2 3 4 1
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑）
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 6.3 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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安装行程环
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图 6.3 - 16 晶圆支撑 - 安装行程环
插入行程环 (1)。
将四个弹簧 (3) 插入至四个孔中。
将四个固定盘 (2) 安装就位。
使用紧固螺钉 (4) 将固定盘固定就位。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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安装下按装置板
图 6.3 - 17 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）- 取下下按装置板
将起吊活塞与辅助工具 (2) 对齐，这样开口就会朝向外口。
将从 12" 改装套件中取出的下按装置板放置于晶圆支撑中。
将圆锥形固定盘 (3) 插入到孔中。
使用螺钉将下按装置板拧上，但不要过紧。
将辅助工具 (2) 插入到开口中并用内部的起吊活塞固定就位。
将两个下按装置板 (4) 上的全部 4 个螺钉 (1) 拧紧。
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