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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全 版本 04/2018 2.6 安全功能 49 2.6 安全功能 2.6.1 推拉门 SIPLACE 晶圆系统内部由推 拉门盖好。 推拉门和保护盖作为保护装置，可以防止未经 授权的人员 接触到 SIPLACE 晶圆 系统内部。 2 2 图 2.6 - 1 推拉门和保护盖 (1) SWS 晶圆盘 升降机 (2) SWS 推拉门 (3) 用于打开 SWS 的握槽 (4) 带安全…
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.5 操作 SWS 的安全须知 版本 04/2018
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2.5.4 线性浸渍单元 (LDU X) 的安全须知
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危险
有害物质 （焊剂）！
LDU X 焊剂有害健康！
请确保阅读与焊剂一同提供的安全数据表 （《材料安全数据表》 - MSDS）
请确保遵守其中的所有规定。
在填装和清洁 LDU X 以及在弃置焊剂时，请穿戴要求的防护服 （如，呼吸保护装
置、手套、护目镜）。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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2.6 安全功能
2.6.1 推拉门
SIPLACE 晶圆系统内部由推拉门盖好。 推拉门和保护盖作为保护装置，可以防止未经授权的人员
接触到 SIPLACE 晶圆系统内部。
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图 2.6 - 1 推拉门和保护盖
(1) SWS 晶圆盘升降机
(2) SWS 推拉门
(3) 用于打开 SWS 的握槽
(4) 带安全开关的门
SWS 晶圆盘升降机由推拉门 （部件 1）盖好。
谨慎
损坏的危险！
用力过大可能会损坏推拉门和保护盖。
请勿进入 SIPLACE 晶圆系统内或攀爬到系统上。
(2)
(3)
(4)
(1)
(4)
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.6 安全功能 版本 04/2018
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功能
如果 SWS 推拉门向上打开，SWS 升降机和夹持器的电源供应将被切断。 屏幕上会显示一则消
息，通知您推拉门已打开。
2.6.2 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关
2
图 2.6 - 2 SWS 上 EMERGENCY STOP （急停）按钮和主开关的位置
(1) EMERGENCY STOP （急停）按钮
(2) 主开关
(1)
(2)