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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.5 操作 SWS 的安全须知 版本 04/2018 48 2.5.4 线性浸渍单元 (LDU X) 的安全须知 2 危险 有害物质 （焊剂）！ LDU X 焊剂有 害健康！ 请确保阅读与焊剂一同提供的安全数据表 （ 《材料安全数据表 》 - MSDS） 请确保遵守其中的所有规定。 在填装和清洁 LDU X 以 及在弃置焊剂时，请穿戴要求的防 护服 （如，呼…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.5 操作 SWS 的安全须知
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2.5 操作 SWS 的安全须知
2.5.1 对晶圆台作业的安全须知
2
2.5.2 更换晶圆盘的安全须知
2
2
2.5.3 关闭 SWS 推拉门时的安全须知
2
– 设备运行期间 SWS 的推拉门可以被打开以更换晶圆盘 - SWS 将继续生产。 打开 SWS 的推
拉门仅会停用晶圆盘升降机。
警告
有夹伤危险！
晶圆台可能导致压伤肢体。
切勿
将肢体伸入到晶圆台方向晶圆盘升降机的缝隙中。
警告
晶圆盘较重！
一个装满的晶圆盘可以重达 25 kg。
拿放晶圆盘时请小心。
如有需要，请再安排一个人进行协助。
谨慎
非正确使用带来损坏的危险！
如果使用不正确，晶圆盘和晶圆升降机可能会被损坏。
请确保晶圆盘升降机上没有任何突出的物体。
请确保正确的晶圆盘已经被正确地放置在晶圆盘升降板上。
警告
有夹伤危险！
在关闭 SWS 的推拉门时有夹住和夹伤手的危险。
在打开或关闭 SWS 推拉门时，务必握住所提供的握槽。 见 第 49 页图 2.6 - 1
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.5 操作 SWS 的安全须知 版本 04/2018
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2.5.4 线性浸渍单元 (LDU X) 的安全须知
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危险
有害物质 （焊剂）！
LDU X 焊剂有害健康！
请确保阅读与焊剂一同提供的安全数据表 （《材料安全数据表》 - MSDS）
请确保遵守其中的所有规定。
在填装和清洁 LDU X 以及在弃置焊剂时，请穿戴要求的防护服 （如，呼吸保护装
置、手套、护目镜）。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.6 安全功能
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2.6 安全功能
2.6.1 推拉门
SIPLACE 晶圆系统内部由推拉门盖好。 推拉门和保护盖作为保护装置，可以防止未经授权的人员
接触到 SIPLACE 晶圆系统内部。
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图 2.6 - 1 推拉门和保护盖
(1) SWS 晶圆盘升降机
(2) SWS 推拉门
(3) 用于打开 SWS 的握槽
(4) 带安全开关的门
SWS 晶圆盘升降机由推拉门 （部件 1）盖好。
谨慎
损坏的危险！
用力过大可能会损坏推拉门和保护盖。
请勿进入 SIPLACE 晶圆系统内或攀爬到系统上。
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