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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 4 设置与调试 版本 04/2018 4.2 安装位置的基础设施 87 4.2.4 移除运输锁 – 移除作为运输锁附于各组件上 的所有胶带和扎带： – 弃置箱使用灰色胶带固定 – X 轴晶圆台使用扎带固定 – Y 轴晶圆台使用扎带固定 – 夹持器使用扎带固定 – 倒装单元使用扎带固定 – 晶圆交换器馈入轴 （如有） 4.2.5 去除导轨的防腐蚀保护 检查 SWS 是否涂覆了防 腐蚀保护…
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 4 设置与调试
版本 04/2018 4.2 安装位置的基础设施
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4.2.4 移除运输锁
– 移除作为运输锁附于各组件上的所有胶带和扎带：
– 弃置箱使用灰色胶带固定
– X 轴晶圆台使用扎带固定
– Y 轴晶圆台使用扎带固定
– 夹持器使用扎带固定
– 倒装单元使用扎带固定
– 晶圆交换器馈入轴 （如有）
4.2.5 去除导轨的防腐蚀保护
检查 SWS 是否涂覆了防腐蚀保护剂。 在设置 SWS 前必须将其清除。
4
4
4.2.6 电源
在完成最后的调试后，将 SWS 连接到电源上。
谨慎
缩短轴承和导轨的生产寿命！
如果轴上的防腐蚀保护剂与轴承润滑脂混合，会明显降低轴承和导轨的使用寿命。
因此在调试期间首次来回移动贴片机轴时，应该先去掉所有轴和轴承上的防腐保护
物。
使用维护说明中介绍的润滑脂为所有轴和轴承润滑。
谨慎
损坏轴承润滑脂的危险！
酒精会破坏导轨槽中的轴承润滑脂。
在清洁导轨和光栅尺时，请确保没有酒精进入引导推车中。
4 设置与调试 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
4.2 安装位置的基础设施 版本 04/2018
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