00198373-01_UM_SWS-ZH.pdf - 第42页
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018 42 2.2.3 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器上的警告标签 2 2 图 2.2 - 3 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 谨慎 高温导致烫伤的危险！ 加热所达到的温度最高可达 60°C。 切勿用手触及风扇周边的区域。 触摸晶圆支撑时应小心。 1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
41
2.2.2.4 警告标签 W210
2
W210， 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009350-01 （每个 SWS 上的数量： 1）
2
W209， 第 39 页的图 2.2 - 2，部件号 03009349-01 （每个 SWS 上的数量：1
2
2
2
2
2
2
EMERGENCY STOP （急停）按钮上的警告标签
2
2
2
2
2
2
在澳大利亚、加拿大、墨西哥和美国，警告标
签 W209 粘贴在 EMERGENCY STOP （急
停）按钮上，而非黄色环上。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
42
2.2.3 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器上的警告标签
2
2
图 2.2 - 3 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
谨慎
高温导致烫伤的危险！
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
1
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
43
2.2.4 线性浸渍单元 (LDU X) 上的警告
2
图 2.2 - 4 W201 [03009338-01] （每个 LDU X 上的数量： 1）
2
图 2.2 - 5 W204 [03009343-01] （每个 LDU X 上的数量： 1）
2
图 2.2 - 6 W18 （每个 LDU X 上的数量： 1）
图 2.2 - 7 LDU X 上的警告标签
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
2
设备的安全操作
设备的安全操作完全取决于操作员是否熟悉 《用户手
册》和安全须知，以及是否将它们付诸实践。
2
2
2
有夹伤危险！
将手伸入此位置将导致手臂或手部受伤。
设备运行时请不要将肢体伸入其内部。
2
2
2
有害或刺激性材料警告