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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统（SWS） 6 选项版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器（扩充器） 115 6.3.4.2 设置 6 图 6.3 - 4 SWS 晶圆拉伸器（扩充器）- 设置拉伸高度  在所有的四个点 (1) 处将螺钉 (2) 拧松。  将螺钉 (2) 推至所需拉伸高度（2、4、6 或 8 mm）的位置。  将螺钉 (2 ) 拧紧。  在这两个点 (3) 上，将螺钉旋转至所需拉伸…

6 选项《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统（SWS）

6.3 SWS 晶圆拉伸器（扩充器）版本 04/2018

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6.3.4 对拉伸高度进行机械设置

只需四步就可在 SWS 晶圆拉伸器（扩充器）中完成对拉伸高度的机械设置。相关的设置必须在

六个不同的点上进行。

6.3.4.1 准备

 将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。

 将晶圆台移动至转换位置。

 选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。

 打开夹具。

 选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。

– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。

 打开扩充器

 选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。

– 下按装置将向上移动。

 选择设置 -> 关闭机器。

SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 6

 在主开关处关闭 SWS。

谨慎

避免损坏夹持器

当您在晶圆支撑上作业时，夹持器可能会被损坏。

 将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离晶圆支撑的作业区。

《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统（SWS） 6 选项

版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器（扩充器）

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6.3.4.2 设置

图 6.3 - 4 SWS 晶圆拉伸器（扩充器）- 设置拉伸高度

 在所有的四个点 (1) 处将螺钉 (2) 拧松。

 将螺钉 (2) 推至所需拉伸高度（2、4、6 或 8 mm）的位置。

 将螺钉 (2) 拧紧。

 在这两个点 (3) 上，将螺钉旋转至所需拉伸高度（2、4、6 或 8 mm）的位置。