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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018 122 将夹具松开 图 6.3 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开 取下夹具 (1) 上轴 ( 2) 的弹性挡圈。 松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。 1 2 4 3
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.6.3 取下 8" 晶圆支撑
取下下按装置板
您需要更换相关晶圆支撑的下按装置板。
图 6.3 - 7 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将用于固定起吊活塞 (2) 的辅助工具插入开口中并从内部固定活塞 (2+5)。
将两个下按装置板 (4) 上的全部 4 个螺钉 (1) 逐个拧松。
将圆锥形固定盘 (3) 取下。 为了随后的安装，您应确保这些部件的安全。
取下两个下按装置板 (4)。
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6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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将夹具松开
图 6.3 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开
取下夹具 (1) 上轴 (2) 的弹性挡圈。
松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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取下行程环
您需要更换相关晶圆支撑的行程环。
图 6.3 - 9 晶圆支撑 - 取下行程环
将固定行程环的 4 个螺钉 (1) 拧松。
将固定盘 (2) 与弹簧 (3) 取下。 请确保用于随后重新安装的固定盘 (2) 与弹簧 (3) 的安全。
将两个传感器 (4) 从线缆延长 (6) 的连接器 (5) 中拔出。
取下行程环。
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