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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件 版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明 75 3.4.7 晶圆交换系统 晶圆交换系统由晶圆盘升降机和 带有夹持器的晶圆交换器组成。 为保证 SWS 可以实现全 自动化生产，需要使用晶圆交换器 系统。 只有向晶圆盘升降机装入新的 晶圆盒时才需要操作员。 晶圆通过一个晶圆盘提供。 晶圆盘由用户安放到晶 圆盘升降机中。 晶圆盘升降机将晶圆盘抬升到 正确的高度，使…
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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3.4.6 推送工具
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图 3.4 - 7 推送工具
(1) 真空帽
(2) 用于容纳推送顶针的引导头
晶粒推送器用于将晶粒从晶圆料膜中释放出来。 它由 Z 轴和推送工具组成。
推送工具位于 Z 轴上，使用棱柱和磁铁予以固定。
晶圆料膜通过真空帽的真空吸力被揭起，顶针系统向上移动将晶粒从晶圆料膜中释放出来。 此时
晶粒可以被倒装单元的吸嘴拾起。
推送工具的顶针配置需要调整到适合晶粒的尺寸，从而使其可以根据相应的要求进行配置。
推送工具上可以装配两种不同的顶针类型：
– 非刺穿型顶针
此类顶针可以使晶圆料膜向上弯曲，从而释放晶粒。 在这种情况下晶圆料膜不会被刺穿，因
此元件不会被顶针接触到。
– 刺穿型顶针
此类顶针将刺穿料膜并直接将晶粒抬离料膜。
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请注意
无推送工具自动交换功能
在此第一版中，还没有可用的自动推送工具交换器。
因此，SWS 只能持续处理可以被同一种推送工具释放的晶粒。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
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3.4.7 晶圆交换系统
晶圆交换系统由晶圆盘升降机和带有夹持器的晶圆交换器组成。
为保证 SWS 可以实现全自动化生产，需要使用晶圆交换器系统。 只有向晶圆盘升降机装入新的
晶圆盒时才需要操作员。
晶圆通过一个晶圆盘提供。 晶圆盘由用户安放到晶圆盘升降机中。 晶圆盘升降机将晶圆盘抬升到
正确的高度，使相应的晶圆位于交接位置。 在这个位置，晶圆交换器可以从晶圆盘中取出晶圆，
并在晶圆被处理后将其推回原位。
晶圆交换器主要由夹持器单元和导向轨组成。 夹持器单元将晶圆拾起并把它移动到当前要求的位
置。
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图 3.4 - 8 晶圆交换系统
(1) 带有夹持器的晶圆交换器
(2) 晶圆盘升降机
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3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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3.4.7.1 晶圆盘升降机
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图 3.4 - 9 晶圆盘升降机
(1) 带可调节晶圆盘托板的晶圆盘支架
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
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