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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 125 将传感器安装在 12" 的装配支架上 6 图 6.3 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1 (1) 装配支架 (2) 安装在装配支架上的传感器 6 图 6.3 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2 (1) 装配支架 (2) 安装在装配支架上的传感器 将两个传感器 (2) 安 装在从 12"…
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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拆除 8" 行程环的传感器
两个传感器固定在 8" 晶圆支撑的行程环上。 需将这些传感器拆下，以用于随后 8" 行程环的重新
安装。 就 12" 晶圆支撑而言，这两个传感器通过所提供的支架安装到了 SWS 的晶圆支撑上。
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图 6.3 - 10 晶圆支撑 - 已取下的 8" 行程环
将安装在传感器上方的热保护板拆下。
将两个传感器 (1) 从行程环的装配支架上拆下。
取下两个传感器并将其安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架上。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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将传感器安装在 12" 的装配支架上
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图 6.3 - 11 晶圆支撑 - 传感器 1
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
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图 6.3 - 12 晶圆支撑 - 传感器 2
(1) 装配支架
(2) 安装在装配支架上的传感器
将两个传感器 (2) 安装在从 12" 改装套件中取出的装配支架 (1) 上。
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将传感器安装在 12" 晶圆支撑上
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 6.3 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。