00198373-01_UM_SWS-ZH.pdf - 第63页
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件 版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值 63 3.2.6 SWS 的重心 3 图 3.2 - 2 SWS 的重心 3 重心坐标： SWS X 坐标 Y 坐标 0 mm 650 mm
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.2 环境条件和连接值 版本 04/2018
62
3.2.5.1 尺寸总览
3
图 3.2 - 1 测量值总览 - SIPLACE 晶圆系统
(1) 1650 mm
(2) 650 mm
(3) 1479 mm
(4) 510 mm
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.2 环境条件和连接值
63
3.2.6 SWS 的重心
3
图 3.2 - 2 SWS 的重心
3
重心坐标：
SWS X 坐标
Y 坐标
0 mm
650 mm
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.3 模块总览 版本 04/2018
64
3.3 模块总览
3
图 3.3 - 1 SWS 总览
3
(1) 夹持器 (2) 倒装单元
(3) 可选件 （晶粒贴附单元或 LDU X）的安装
位置
(4) 晶粒推送器
(5) 供应单元 (6) X 单元
(7) 晶圆盘升降机
1
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7