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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件 版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明 77 3.4.7.2 可调节晶圆盘托板 3 图 3.4 - 10 可调节晶圆盘托板 3 止动条可以安装在 6" 、 8" 或 12 " 晶圆盘的相应位置中。 (1) 用于固定装配位置的止动条 （用于 6"、 8" 或 12 " 晶圆盘 ） (2) 用于可变装…
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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3.4.7.1 晶圆盘升降机
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图 3.4 - 9 晶圆盘升降机
(1) 带可调节晶圆盘托板的晶圆盘支架
(2) 马达
(3) 带有保护盖的晶圆交换器
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
77
3.4.7.2 可调节晶圆盘托板
3
图 3.4 - 10 可调节晶圆盘托板
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止动条可以安装在 6"、8" 或 12" 晶圆盘的相应位置中。
(1) 用于固定装配位置的止动条 （用于 6"、8"
或 12 " 晶圆盘）
(2) 用于可变装配位置的止动条 （用于 6"、8"
或 12 " 晶圆盘）
(3) 晶圆盘识别
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3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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3.4.7.3 晶圆交换器
根据装配位置不同 （2 号和 4 号或 1 号和 3 号）使用两种不同版本的晶圆交换器。
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图 3.4 - 11 主要夹持器模块 （2 号、4 号位置）
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(1) 夹持器 (2) 齿形带轴
(3) 条形码扫描仪 （可选）的安装位置 (4) 保护盖下方的 AD-MOT 板
(5) 带耦合的马达
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