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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 127 将挡块安装在夹具上 6 图 6.3 - 14 晶圆支撑 - 将挡块 安装在夹具上 将 12" 改装套件中取 出的挡块 (2) 安装在 夹具 (1) 上 。 1 2
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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将传感器安装在 12" 晶圆支撑上
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
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图 6.3 - 13 晶圆支撑 - 安装传感器
重新连接传感器连接。
使用装配支架将两个传感器固定在晶圆支撑上。
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项
版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
127
将挡块安装在夹具上
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图 6.3 - 14 晶圆支撑 - 将挡块安装在夹具上
将 12" 改装套件中取出的挡块 (2) 安装在夹具 (1) 上。
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6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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安装盖板 （仅用于 12" 晶圆支撑）
使用 4 颗螺钉将盖板安装到晶圆支撑上。
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图 6.3 - 15 晶圆支撑 - 安装盖板
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