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2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2.4 操作安全须知 版本 04/2018 46 2 图 2.4 - 1 关闭侧推拉门时的安全 须知 (1) 握 柄 (2) 侧推拉门 2.4.2 ESD 安全 只能使用被认定具有传导性的吸嘴 。 这是满足 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) ESD 安全要求的唯一方 法。 (1) (2)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.3 运输安全须知
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2.3 运输安全须知
2
可以使用一个满足下列规格要求的合适的手摇起重机来运输 SIPLACE 晶圆系统：
承载功率 （最小值） 1000 kg
叉长 （最小值） 1000 mm
货叉之间的距离 （最小值）300，（最大值） 525 mm （外部尺寸） 2
2
2.4 操作安全须知
2.4.1 关闭侧推拉门时的安全须知
SIPLACE CA4 V2 的侧推拉门可以打开，便于操作 SWS。 在关闭贴片机侧推拉门时为防止人员受
伤，操作员必须指导相关人员严格按照以下指示来处理侧推拉门。
2
打开或关闭侧推拉门 （第 46 页图 2.4 - 1 中的部件 2）时，务必握住握柄 （第 46 页图 2.4
- 1 中的部件 1）并按压控制杆。
关闭保护盖时，不要将手伸入侧推拉门和贴片机面板间的缝隙中。
关闭侧推拉门时，请确保侧推拉门关闭所经的区域内没有任何障碍物，并且没有任何人有受
伤的危险。
警告
侧倾的危险！
如叉车未到达规格要求，就会有 SIPLACE 晶圆系统发生侧倾的危险。
仅可使用规定的叉车进行运输。
有关运输 SWS 的说明，请参见第 81
页第 4.1 节。
请注意
手摇起重机规格
叉车的必要宽度是一个关键性的尺度。
请确保所使用的手摇起重机符合特定的要求。
谨慎
手部压伤危险！
如果侧推拉门没有正确关闭，将有手部被夹伤的危险。
正确关闭侧推拉门。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.4 操作安全须知 版本 04/2018
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2
图 2.4 - 1 关闭侧推拉门时的安全须知
(1) 握柄
(2) 侧推拉门
2.4.2 ESD 安全
只能使用被认定具有传导性的吸嘴。 这是满足 SIPLACE 晶圆系统 (SWS) ESD 安全要求的唯一方
法。
(1)
(2)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.5 操作 SWS 的安全须知
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2.5 操作 SWS 的安全须知
2.5.1 对晶圆台作业的安全须知
2
2.5.2 更换晶圆盘的安全须知
2
2
2.5.3 关闭 SWS 推拉门时的安全须知
2
– 设备运行期间 SWS 的推拉门可以被打开以更换晶圆盘 - SWS 将继续生产。 打开 SWS 的推
拉门仅会停用晶圆盘升降机。
警告
有夹伤危险！
晶圆台可能导致压伤肢体。
切勿
将肢体伸入到晶圆台方向晶圆盘升降机的缝隙中。
警告
晶圆盘较重！
一个装满的晶圆盘可以重达 25 kg。
拿放晶圆盘时请小心。
如有需要，请再安排一个人进行协助。
谨慎
非正确使用带来损坏的危险！
如果使用不正确，晶圆盘和晶圆升降机可能会被损坏。
请确保晶圆盘升降机上没有任何突出的物体。
请确保正确的晶圆盘已经被正确地放置在晶圆盘升降板上。
警告
有夹伤危险！
在关闭 SWS 的推拉门时有夹住和夹伤手的危险。
在打开或关闭 SWS 推拉门时，务必握住所提供的握槽。 见 第 49 页图 2.6 - 1