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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全 版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 43 2.2.4 线性浸渍单元 (LDU X) 上的警告 2 图 2.2 - 4 W201 [03009338-01] （每个 LDU X 上的数量： 1） 2 图 2.2 - 5 W204 [03009343-01] （每个 LDU X 上的数量： 1） 2 图 2.2 - 6 W18 （每个 LDU …
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
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2.2.3 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器上的警告标签
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图 2.2 - 3 晶圆支撑与 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器
谨慎
高温导致烫伤的危险！
加热所达到的温度最高可达 60°C。
切勿用手触及风扇周边的区域。
触摸晶圆支撑时应小心。
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签
43
2.2.4 线性浸渍单元 (LDU X) 上的警告
2
图 2.2 - 4 W201 [03009338-01] （每个 LDU X 上的数量： 1）
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图 2.2 - 5 W204 [03009343-01] （每个 LDU X 上的数量： 1）
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图 2.2 - 6 W18 （每个 LDU X 上的数量： 1）
图 2.2 - 7 LDU X 上的警告标签
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设备的安全操作
设备的安全操作完全取决于操作员是否熟悉 《用户手
册》和安全须知，以及是否将它们付诸实践。
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有夹伤危险！
将手伸入此位置将导致手臂或手部受伤。
设备运行时请不要将肢体伸入其内部。
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有害或刺激性材料警告
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.2 SIPLACE 晶圆系统上的警告标签 版本 04/2018
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2.2.5 倒装单元和晶粒贴附单元上的警告
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图 2.2 - 8 W13 （在晶粒贴附单元上的数量： 1，在倒装单元上的数量： 1）
图 2.2 - 9 晶粒贴附单元上的警告标签
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关于磁场的警告