00198373-01_UM_SWS-ZH.pdf - 第80页
3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系 统 （SWS） 3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018 80
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 3 技术数据和组件
版本 04/2018 3.4 SWS 的模块说明
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图 3.4 - 12 主要夹持器模块 （1 号、3 号位置）
(1) 夹持器 (2) 齿形带轴
(3) 条形码扫描仪 （可选）的插入位置 (4) AD-MOT 板
(5) 带耦合的马达
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3 技术数据和组件 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
3.4 SWS 的模块说明 版本 04/2018
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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 4 设置与调试
版本 04/2018 4.1 SWS 的出厂配置和运输
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4 设置与调试
4.1 SWS 的出厂配置和运输
4.1.1 装运包装
如在欧洲之内运输，SIPLACE 晶圆系统装放在一个木质货盘上并用塑料薄膜包裹。 如在欧洲之
外，SIPLACE 晶圆系统装放在一个木质板条箱里，然后放在一个稳定的木质货盘上。
4.1.1.1 装运包装的尺寸
木质运输板条箱的尺寸如下：
长 1700 mm
宽 1250 mm
高 1600 mm
4
4
图 4.1 - 1 SWS 的运输板条箱 - 尺寸以毫米为单位
4.1.1.2 做好派送准备的 SIPLACE 晶圆系统重量
下表为做好派送准备的 SIPLACE 晶圆系统重量 （包含包装）。
叉车插入点
欧洲以内派送 海外 （欧洲以外）派送
SIPLACE 晶圆系统 390 kg 473 kg