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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 119 6.3.6.1 12" 晶圆扩充器改装套件中的部件 图 6.3 - 6 12" 晶圆支撑改装套件中的部件 (1) 传感器 1 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉） (2) 传感器 2 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉） (3) 挡块 （含夹具所用的紧固螺钉） (4) 用于固…
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.6 转换 SIPLACE SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
为了能通过 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）使用各种不同的晶圆尺寸 （8" 与 12"），您需要转换
SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）。
您可以按照以下方式订购 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）：
– 00519717-xx 12 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 03079734-xx 8 英寸改装套件
或
– 00519719-xx 8 英寸晶圆扩充器
并作为可选项 6
– 00519720-xx 12 英寸改装套件
以下说明描述了从一个 8" 到 12" 晶圆支撑的转换过程（另请参阅 表 12" 转换至 8 的差异，第 131
页）。
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6.3.6.1 12" 晶圆扩充器改装套件中的部件
图 6.3 - 6 12" 晶圆支撑改装套件中的部件
(1) 传感器 1 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(2) 传感器 2 的装配支架 （含 2 x M3x6 螺钉）
(3) 挡块 （含夹具所用的紧固螺钉）
(4) 用于固定起吊活塞的辅助工具 [ 部件号 03121551-xx] 已提供，并且以后会将其包含在 SWS
的服务箱中。
(5) 行程环
(6) 左右下按装置板
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6.3.6.2 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
选择设置 -> 关闭机器。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 6
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）上作业时，可能会损坏夹持器。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）的作业区。