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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全 版本 04/2018 2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警 告标签 55 2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签 2.8.1 目的及范围 在 SIPLACE 晶圆系统 上进行任何预防性维护或维修工作之前，必 须执行上锁和挂牌程序。 正确 执行该程序可以彻底消除员工受 伤害的可能性。 2 2.8.2 说明 无论何时，如果需要隔离、 控制和释放 SIP…
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.7 停用压缩空气供给并释放压力 版本 04/2018
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2.7 停用压缩空气供给并释放压力
压缩空气单元位于 SWS 的背面 （见第 54 页图 2.7 - 1）。 SWS 压缩空气的工作压力被设定为
0.50 ± 0.025 MPa （5.0 ± 0.25 bar）。
2
2
图 2.7 - 1 SWS 上的电气和气动连接 （以 SWS 2/4 为例）
2
警告
受伤的危险！
因处于加压状态的压缩空气线路导致人身伤害的危险。 至 SWS 的压缩空气由 SIPLACE
CA4 V2 供应。
在 SIPLACE CA4 V2 处切断压缩空气供给。
切勿在压缩空气线路依然处于加压状态时断开压缩空气线路。
(1) 设置倒装头段位器或晶粒贴附段位器的鼓
风
(2) 电压供应
(3) 连接 SIPLACE CA4 V2 的安全开关 (4) CAN 总线 （仅用于 SW 605.x）
(5) 连接自 SIPLACE CA4 V2 的压缩空气软管
开孔
(6) LAN1 - 与外部映射服务器通信
(7) LAN2 - 与 SIPLACE CA4 V2 及其他 SWS
通信
(1)
(2)
(3)
(4)
(6)
(7)
(5)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 2 操作安全
版本 04/2018 2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签
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2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签
2.8.1 目的及范围
在 SIPLACE 晶圆系统上进行任何预防性维护或维修工作之前，必须执行上锁和挂牌程序。 正确
执行该程序可以彻底消除员工受伤害的可能性。
2
2.8.2 说明
无论何时，如果需要隔离、控制和释放 SIPLACE 晶圆系统的能量，必须按下面的流程执行操作：
通知受影响的员工。
关闭 SIPLACE 晶圆系统及任何辅助设备。 通过正常的停止程序关闭设备：
– 关闭 SIPLACE 晶圆系统。
– 在主开关处关闭 SIPLACE 晶圆系统。
切断 SIPLACE 晶圆系统的所有能源供应：
– 在 SIPLACE CA4 V2 处切断压缩空气供给，从而中断 SIPLACE 晶圆系统的压缩空气供
给。
– 切断 SIPLACE 晶圆系统的电源。
给贴片机上锁。
– 只要有可能，都要上锁 （例如给主开关上锁）。
或者： 挂牌程序
如果设备能够上锁，则必须将其锁住。 但在某些情况下能量隔离器件无法被上锁。 在这种情
况下，必须对能量隔离器件进行挂牌，以提醒员工该设备已断电进行维修。 牌子必须系牢，
放置在所有人员均可见的位置，并且只能由挂牌的人员取下。 2
释放存储的能量
压缩空气供给装置中存储的能量或电解电容器中的电能必须用适当的方法释放掉。 2
在关闭 SIPLACE 晶圆系统后，请等待规定的放电或泄压时间，然后方可再次安全地操
作 SIPLACE 晶圆系统。
确认上锁。
测试 SIPLACE 晶圆系统锁。
SIPLACE 晶圆系统恢复工作时必须执行下列步骤。
请注意
最低要求
此程序代表了预防性维护或维修作业的最低上锁 / 挂牌要求。 对于为保证操作安全而需
额外配备的安全设备，可由设备的监管人员、安全主管、安全委员会和保健部门指定。
2 操作安全 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
2.8 锁定 SIPLACE 晶圆系统并贴上警告标签 版本 04/2018
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检查工作区域。 授权员工应当取走所有工具，并重新安装所有保护装置。
通知所有受影响的员工。
在取下一把挂锁或者一个标牌之前，必须通知该区域内的所有工人，贴片机将重新启
动。
取下挂锁 / 标牌
每个授权员工必须取下自己的挂锁。 每为授权员工都应该有自己的挂锁。
打开 SIPLACE 晶圆系统和 SIPLACE CA4 V2。 授权工人应当注意观察设备的工作状况，
以确保修理工作已正确完成。
2.8.3 测试
维修人员可以通过短时间激活电路来测试它们，而不需取消锁定方式。 测试只能在没有其他人员
在使用被测试设备进行任何其它工作的情况下进行。
极为重要的是，所有远程启动开关上都应挂上 “ 切勿操作 ” 标牌，以防止在测试过程中对设备的
无意操作。
2.8.4 责任和义务
– 维护和维修人员应负责确保此作业程序得到切实执行。
– 维护和维修人员的直接主管应责任指示这些人员执行此项程序。
– 安全主管负责管理机器以及执行上锁挂牌程序。
2.8.5 培训
– 安全规章要求所有人员都必须接受培训。 当然每个员工要面临的危险程度并不相同，也不是
都需要参与 “ 上锁 / 挂牌 ” 作业。 因此，并不需要对所有人员进行深度的培训。
– 为了确定每位工人所需要的培训程度，我们将所有雇员分成了三个组别。 其中每个组别都有
自己的培训等级。
– 授权员工。
– 这些工人负责挂锁和标牌的实际安放，并负责执行预防性维护或维修工作。 因此，他们
对受控能源的知识必须掌握得最好。 首先，他们必须能够识别出所有的能量源，并能够
对能量进行测量。 授权雇员必须能够查找那些非明显的能量源。 这些能量源包括电能、
机械能、液压能、空气能、化学能、热能及重力能。 在这些工人能够识别出所有能量源
后还必须教会他们如何在没有任何危险的情况下隔离、控制和释放这些能量。
– 受影响雇员
– 这些工人操作的机械或设备可能并没有通电。 其他受影响的雇员还包括那些工作区域中
存在被上锁或被挂牌设备的工人。 这些雇员必须接受培训了解能量控制程序的性质。 他
们必须知道 “ 上锁 / 挂牌 ” 为什么如此重要，以及标牌和挂锁的样子，还有他们为什么不
能移除标牌或挂锁。
– 所有其他雇员
– 如名称所示，所有不受影响或未被授权的雇员均属于此范畴之内。 这些员工包括办公室
人员、主管以及高层管理人员。 尽管他们与被上锁或挂牌的机械设备没有直接联系，但
也必须接受一定的培训。