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《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 6 选项 版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 121 6.3.6.3 取下 8" 晶圆支撑 取下下按装置板 您需要更换相关晶圆支撑的下按 装置板。 图 6.3 - 7 晶圆支撑 - 取下下按装置板 将用于固定起吊活塞 (2) 的辅助工具插入开口中并从内部 固定活塞 (2+5)。 将两个下按装置板 (4) 上的全部 4 个螺钉 (1) 逐个拧松…
6 选项 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器） 版本 04/2018
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6.3.6.2 准备
将 SWS 模块上的所有当前流程关闭。
将晶圆台移动至转换位置。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 转至更改位置。
打开夹具。
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 打开晶圆夹具。
– 夹具将打开，而膨胀环将向下移动。
打开扩充器
选择手动操作 -> 晶圆处理系统 -> 释放拉伸器。
– 下按装置将向上移动。
选择设置 -> 关闭机器。
SWS GUI 和 Linux 将正确关闭。 6
在主开关处关闭 SWS。
谨慎
避免损坏夹持器
当您在 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）上作业时，可能会损坏夹持器。
将夹持器朝向晶圆抬升的方向推，将其推离 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）的作业区。
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版本 04/2018 6.3 SWS 晶圆拉伸器 （扩充器）
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6.3.6.3 取下 8" 晶圆支撑
取下下按装置板
您需要更换相关晶圆支撑的下按装置板。
图 6.3 - 7 晶圆支撑 - 取下下按装置板
将用于固定起吊活塞 (2) 的辅助工具插入开口中并从内部固定活塞 (2+5)。
将两个下按装置板 (4) 上的全部 4 个螺钉 (1) 逐个拧松。
将圆锥形固定盘 (3) 取下。 为了随后的安装，您应确保这些部件的安全。
取下两个下按装置板 (4)。
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将夹具松开
图 6.3 - 8 晶圆支撑 - 将夹具松开
取下夹具 (1) 上轴 (2) 的弹性挡圈。
松开夹具的钩子，这样夹持杆 (3) 便可不受限制 (4)。
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