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5 SW S 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5.9 控制部件和显示屏 版本 04/2018 98 5.9 控制部件和显示屏 5.9.1 总览 5 图 5.9 - 1 控制部件和显示装置 (1) 主开关 (3) LCD 触摸屏 (2) EMERGENCY S TOP （急停）按钮 (4) 键盘 (1) (2) (3) (4)
《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS） 5 SWS 任务
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5.8 更改 SWS 的设置
检查晶圆锁定杆的定位方向是否与相关的晶圆尺寸相匹配 （见第 78 页的图 3.4.4.1）。
5
检查晶圆盘是否已被正确填装。
调整晶圆盘的支持板，然后插入新的晶圆盘。
检查推送器系统的顶针配置 （见第 91 页第 5.3 节）。
检查倒装单元是否已经安装了正确的工具和吸嘴 （见第 95 页第 5.4 节）。
载入或编制要求的产品 （见 “ 软件指南 ”）。
请注意
配置 SWS
在开始运行 SWS 时，已为其配置了要求的晶圆尺寸和晶圆框厚度。
关于将 SWS 调整到其他尺寸和厚度的说明在 《维修手册》中已做介绍。
5 SWS 任务 《用户手册》 SIPLACE 晶圆系统 （SWS）
5.9 控制部件和显示屏 版本 04/2018
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5.9 控制部件和显示屏
5.9.1 总览
5
图 5.9 - 1 控制部件和显示装置
(1) 主开关 (3) LCD 触摸屏
(2) EMERGENCY STOP （急停）按钮 (4) 键盘
(1)
(2)
(3)
(4)
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版本 04/2018 5.9 控制部件和显示屏
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5.9.2 说明
一个身高 1.40 m 的人即可触摸到所有控制部件。
主开关
主开关用于接通和断开 SWS 的电源。
5
EMERGENCY STOP （急停）按钮
EMERGENCY STOP （急停）按钮在按下后即被锁定在 ON （开）的位置上。 电源将被切断。 旋
转松开按钮。
LCD 触摸屏
每个 SWS 都装配有一个具备 LCD 技术和触摸屏功能的纯平显示器，用于操作 SWS 软件。
键盘
键盘位于显示器下方。
5
USB 连接
5
图 5.9 - 2 USB 连接
LCD 屏幕旁边有一个 USB 接口 (1)。
危险
致命电压！
SWS 内的某些部分携带有可能致命的电压 —— 即便主电源开关已被关闭。
谨慎
撞到显示器和键盘的危险
操作 SWS 时，存在撞到显示器和键盘的危险。
将显示器和键盘移到一边。
确保不要将头伸到显示器和键盘下方。
(1)